[发明专利]辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及纳米压印片的制造方法有效
申请号: | 200880122606.5 | 申请日: | 2008-11-19 |
公开(公告)号: | CN101909859A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 山田信明;藤井晓义;林秀和;田口登喜生 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | B29C59/04 | 分类号: | B29C59/04;B29C33/30;B29C33/38;B29C33/42;B81C5/00;G02B1/11;H01L21/027;B29L11/00 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 压印 装置 模具 固定 以及 制造 方法 | ||
1.一种辊型纳米压印装置,其通过转动模具辊而在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起,其特征在于:
该模具辊是在外周面形成有纳米尺寸的凹坑的圆筒体,
该纳米压印装置在被该模具辊的内周面包围的区域具有流体容器,上述流体容器具备能通过流体的注入而膨胀的弹性膜,
在使该弹性膜收缩的状态下进行模具辊的装卸,在使该弹性膜膨胀的状态下从内侧保持模具辊。
2.根据权利要求1所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述纳米压印装置具有中空的中空辊,上述中空辊能够安装在该装置中,并且形成有开口,
上述弹性膜是袋状的,
上述流体容器是包括该袋状的弹性膜的弹性袋,
该纳米压印装置在被该模具辊的内周面包围的区域配置有该中空辊,在该中空辊内配置有弹性袋,
使该弹性袋膨胀来使从中空辊的开口露出的部分与模具辊的内周面接触,由此保持模具辊,在保持模具辊的状态下通过转动中空辊来转动模具辊。
3.根据权利要求1所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述流体容器能够安装在上述纳米压印装置中,并且是由上述弹性膜塞住形成有开口的中空辊的该开口的容器,
在上述纳米压印装置中,通过使弹性膜膨胀而与模具辊的内周面接触来保持模具辊,在保持模具辊的状态下通过转动中空辊来转动模具辊。
4.根据权利要求2或者3所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述中空辊,除了形成有开口的部分以外,在与模具辊的内周面对置的面上设有弹性体。
5.根据权利要求1所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述纳米压印装置具有转动体,上述转动体能够安装在该装置中,并且配置在被模具辊的内周面包围的区域中,
上述弹性膜是袋状的,
上述流体容器是包括该袋状的弹性膜的弹性袋,并且安装在该转动体的周围,该纳米压印装置通过使该弹性袋膨胀而与模具辊的内周面接触来保持模具辊,在保持模具辊的状态下通过转动转动体来转动模具辊。
6.根据权利要求5所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述转动体在外周面的未安装有上述弹性袋的区域上设有弹性体。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述模具辊实质上未形成有接缝。
8.根据权利要求1~7中的任一项所述的辊型纳米压印装置,其特征在于:
上述模具辊是在研磨后的铝管的外周面通过阳极氧化法形成有上述纳米尺寸的凹坑的模具辊。
9.一种辊型纳米压印装置用模具辊,其用于通过一边转动一边对被转印膜进行阴模压制,在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起,其特征在于:
该模具辊是在外周面形成有纳米尺寸的凹坑的圆筒体,并且具有位置对准机构,上述位置对准机构用于相对于配置在被模具辊的内周面包围的区域中的构件进行定位。
10.一种辊型纳米压印装置用模具辊,其用于通过一边转动一边对被转印膜进行阴模压制,在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起,其特征在于:
该模具辊对通过挤出加工形成的圆筒状的铝管的外周面进行切削研磨,进而交替地重复进行蚀刻和阳极氧化,由此在该外周面形成深度比光的波长小的圆锥形的凹坑。
11.一种辊型纳米压印装置用固定辊,其用于通过转动在外周面形成有纳米尺寸的凹坑的圆筒状的模具辊,在被转印膜的表面连续形成纳米尺寸的突起,其特征在于:
该固定辊是配置在被该模具辊的内周面包围的区域的固定辊,
安装有能通过流体的注入而膨胀的弹性膜,
在使该弹性膜收缩的状态下装卸模具辊,在该弹性膜膨胀而从内侧保持模具辊的状态下转动固定辊,由此转动模具辊,并且
具有位置对准机构,其用于相对于模具辊进行定位。
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