[发明专利]辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及纳米压印片的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及辊型纳米压印片的制造方法。更为详细地，涉及适用于制造能够得到低反射率的完成了表面处理的树脂片的辊型纳米压印装置、辊型纳米压印装置用模具辊、辊型纳米压印装置用固定辊以及辊型纳米压印片的制造方法。

背景技术

近几年，将刻入到模具中的纳米尺寸(1～1000μm)的凹凸(下面，也称为“纳米构造”)按压到涂敷在基板上的树脂材料上来转印形状的技术、所谓的纳米压印技术受到关注，正在进行目标是应用于光学材料、IC的细微化、临床检查基板等的研究。作为纳米压印技术的优点，可以列举出如下方面：与使用光刻和蚀刻的以往的图案形成技术相比能够以低成本来制作具备各种特征的部件。作为其原因，可以列举出：纳米压印技术所使用的装置的结构简单，与以往技术所使用的装置相比价格便宜，能够在短时间内大量地制造相同形状的部件。

作为纳米压印技术的方式，已知有热纳米压印技术、UV纳米压印技术等。例如，UV纳米压印技术是在透明基板上形成紫外线固化树脂薄膜，在该薄膜上，按压具有纳米构造的模具，其后照射紫外线，由此在透明基板上形成具有模具的反转形状的纳米构造的薄膜。在研究阶段使用这些方式的情况下，一般是使用平的模具、通过批处理来形成纳米构造。

为了通过纳米压印技术来低成本、大量制造具有纳米构造的薄膜，与批处理相比，适用辊到辊处理的方法。根据辊到辊处理，能够使用模具辊连续制造具有纳米构造的薄膜。

作为使用辊到辊处理的纳米压印技术，公开有例如如图18所示的方法，一边使小型模具辊52按照顺序横向滑动而拼接图案，一边在涂敷在大型模具辊51上的紫外线固化树脂上转印图案，在大型模具辊51上形成图案(例如，参照专利文献1)。然而，在该方法中，在大型模具辊51内拼接图案，因此基本上，所形成的纳米构造会有接缝，不适用于形成比小型模具辊52的宽度大的纳米构造。

关于用于辊到辊处理的辊，在纳米压印技术以外的领域中，公开有直接在辊材料上形成凹凸图案的辊的制作方法(例如，参照专利文献2、3)。然而，在将该方法应用于纳米压印技术的情况下，在形成有纳米构造的模具辊中，必须安装用于连结模具辊和纳米压印装置的轴承机构等，模具辊的成本上升了，这会有产量上的问题。

另外，公开有将具有凹凸图案的圆筒状的部件安装到辊中的方法(例如，参照专利文献4的图7)。然而，根据该方法，难以使纳米构造在模具辊的外周一周都连接到一起，难以消除接缝。

对此，在具有纳米构造的光学材料的制造技术的领域中，已知有使用铝基板作为模具的方法，上述铝基板通过阳极氧化在表面形成有纳米尺寸的孔(例如，参照专利文献5～8)。此外，光学材料中已知有作为纳米构造的一种的“蛾眼构造”。蛾眼构造可以列举出例如在透明基板的表面形成多个纳米尺寸的锥形突起的构造。根据这种蛾眼构造，折射率从空气层到透明基板连续变化，因此入射光不会识别出光学表面，能够使反射光锐减(例如，参照专利文献6～9)。

根据这种使用阳极氧化的方法，能够将纳米尺寸的凹坑随机地、大致均匀地形成在表面中，能够在圆柱状或者圆筒状的模具辊的表面形成连续生产所需的没有接缝的(无缝的)纳米构造接缝(例如，参照专利文献8的图19)。

专利文献1：日本特开2007-203576号公报

专利文献2：日本特开2005-144698号公报

专利文献3：日本特开2005-161531号公报

专利文献4：日本特开2007-281099号公报

专利文献5：日本特表2003-531962号公报

专利文献6：日本特开2003-43203号公报

专利文献7：日本特开2005-156695号公报

专利文献8：国际公开第2006/059686号小册子

专利文献9：日本特开2001-264520号公报

发明内容

发明要解决的问题