[发明专利]成膜方法及成膜装置

权利要求书

1.一种成膜方法，其特征在于，具有：

使二价的羧酸金属盐与羧酸反应而生成一价的羧酸金属盐气体的工序；

向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体的工序；以及

对基板提供能量，将向基板上供给的所述金属的羧酸盐分解而形成金属膜的工序。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述二价的羧酸金属盐为粉末状，通过向其供给羧酸气体或液体状的羧酸而得到一价的羧酸金属盐气体。

3.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，在使二价的羧酸金属盐与羧酸反应时加热。

4.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述基板配置于保持为真空的处理容器内，将所述二价的羧酸金属盐与羧酸反应而生成的一价的羧酸金属盐气体导入所述处理容器内。

5.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，通过向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体而使所述羧酸盐在基板上沉积，

通过向沉积有所述一价的羧酸金属盐的基板提供能量而将基板上的羧酸盐分解。

6.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，在向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体的同时，向基板提供能量。

7.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述金属是选自铜、银、钴、镍中的金属。

8.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述羧酸是选自甲酸、乙酸、丙酸、戊酸、丁酸中的羧酸。

9.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述二价的羧酸金属盐为甲酸铜，所述羧酸为甲酸，所述一价的羧酸金属盐气体为甲酸亚铜。

10.一种成膜方法，其特征在于，具有：

使二价的羧酸金属盐与该金属反应而生成一价的羧酸金属盐气体的工序；

向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体的工序；以及

对基板提供能量，将向基板上供给的所述金属的羧酸盐分解而形成金属膜的工序。

11.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，通过在使二价的羧酸金属盐与该金属共存的状态下加热，得到一价的羧酸金属盐气体。

12.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，所述基板配置于保持为真空的处理容器内，将所述二价的羧酸金属盐与该金属反应而生成的一价的羧酸金属盐气体导入所述处理容器内。

13.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，通过向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体而使所述羧酸盐在基板上沉积，

通过向沉积有所述羧酸盐的基板提供能量而将基板上的羧酸盐分解。

14.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，在向基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体的同时，向基板提供能量。

15.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，所述金属是选自铜、银、钴、镍中的金属。

16.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，构成所述二价的羧酸金属盐的羧酸是选自甲酸、乙酸、丙酸、戊酸、丁酸中的羧酸。

17.根据权利要求10所述的成膜方法，其特征在于，所述二价的羧酸金属盐为甲酸铜，所述一价的羧酸金属盐气体为甲酸亚铜。

18.一种成膜装置，其特征在于，具备：

保持为真空并配置基板的处理容器、

在所述处理容器内支承基板的基板支承构件、

使二价的羧酸金属盐与羧酸反应而生成一价的羧酸金属盐气体的气体生成机构、

向所述处理容器内的基板上供给所述一价的羧酸金属盐气体的气体供给机构、

对所述基板支承构件上的基板提供能量的能量提供机构、以及

将所述处理容器内排气的排气机构，

利用由所述能量提供机构带来的能量将第一羧酸盐分解而在基板上形成金属膜。