[发明专利]整体形成的探针及其制造方法有效
申请号: | 200880123862.6 | 申请日: | 2008-12-30 |
公开(公告)号: | CN101911273A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 李洪大 | 申请(专利权)人: | 中村敏幸;人类照明有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 整体 形成 探针 及其 制造 方法 | ||
1.整体形成的探针的制造方法,其特征在于,该方法包括:
切割步骤,切割主体(100),从而能够在一个主体(100)中形成上接触件(101)、下接触件(102)和弹性弹簧件(103);
烧制步骤,烧制螺旋弹簧(106),使弹性弹簧件(103)具有弹性力;
下端口成型步骤,使下接触件(102)形成圆形;
弯曲步骤,将所述弹性弹簧件(103)在所述主体(100)的内部从顶到底地弯曲;
完成步骤,将所述主体(100)模塑为圆形之后,将所述上接触件(101)卷为比所述主体(100)的外径更小,使所述上接触件(101)突出以接触半导体的端口或印刷电路板的端口。
2.整体形成的探针的制造方法,其特征在于,该方法包括:
切割步骤,切割主体(100),从而能够在一个主体(100)中形成上接触件(101)、下接触件(102)和弹性弹簧件(103);
烧制步骤,烧制螺旋弹簧(106),使弹性弹簧件(103)具有弹性力;
下端口成型步骤,使下接触件(102)和上接触件(101)形成圆形;
弯曲步骤,将弹性弹簧件(103)从主体(100)的侧部向主体的内部弯曲;
完成步骤,将主体(100)形成为圆形。
3.根据权利要求1所述的整体形成的探针的制造方法,其中,在所述切割步骤中,所述弹性弹簧件(103)切割为波浪形(字母S),在所述烧制步骤中,A压接件(104)向上塑性变形,B压接件(105)向下塑性变形,从而具有所述弹性力。
4.根据权利要求1所述的整体形成的探针的制造方法,其中,在所述切割步骤中,进行切割时,在所述主体上成型凸起部,在所述上接触件和所述下接触件上成型凹槽,或者仅在所述下接触件上成型凹槽。
5.根据权利要求1所述的整体形成的探针的制造方法,其中,在所述切割步骤中,将所述弹性弹簧件(103)切割为细长板形,在成型步骤中,将所述弹性弹簧件(103)的上部卷成圆形,使所述下接触件(102)具有弹性力。
6.根据权利要求1所述的整体形成的探针的制造方法,其中,所述主体(100)、上接触件(101)和下接触件(102)成型为四边形或圆形,而与所述弹性弹簧件(103)的完成形状是螺旋弹簧的形状、圆形、四边形或椭圆形无关。
7.整体形成的探针,其特征在于,所述主体(100)的上部中形成有上接触件(101),所述主体(100)包括弹性弹簧件(103)和下接触件(102),所述弹性弹簧件(103)连接于所述主体(100)的一端,所述下接触件(102)与弹性弹簧件(103)一体形成,所述弹性弹簧件(103)位于所述主体(100)内,使下接触件(102)能够突出于所述主体的下部。
8.根据权利要求7所述的探针,其中,所述弹性弹簧件(103)形成为连接于所述主体(100)的螺旋弹簧(106)的形状。
9.根据权利要求7所述的探针,其中,所述弹性弹簧件(103)具有细长板形,并在连接于所述主体(100)的部分成型为圆形,使下接触件(102)能够具有弹性。
10.根据权利要求7所述的探针,其中,所述凹槽(107)形成在所述下接触件(102)的柱侧,所述凸起部(108)形成在所述主体(100)中,因而所述下接触件(102)通过所述凸起部(108)仅能够在所述凹槽(107)的长度内上下移动,从而能够调整行程。
11.根据权利要求7至8中任意一项所述的探针,其中,所述主体(100)、上接触件(101)和下接触件(102)形成为四边形。
12.根据权利要求8所述的探针,其中,所述弹性弹簧件(103)中圆形形成部分的一部分与所述主体(100)的内表面邻接。
13.根据权利要求8所述的探针,其中,所述弹性弹簧件(103)中圆形形成部分的两侧突出到所述主体(100)的外部。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中村敏幸;人类照明有限责任公司,未经中村敏幸;人类照明有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200880123862.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造