[发明专利]弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波装置，其特征在于，

具备：

压电基板，其由LiNbO₃基板构成，并在上表面形成有多条槽；

IDT，其具有由在所述压电基板的上表面的多条槽中所填充的金属材料构成的多条电极指，

所述金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，

在设定弹性表面波的波长为λ的情况下，所述IDT的电极膜厚与所述LiNbO₃基板的欧拉角(0°±10°，θ，0°±10°)的θ为下述表1中所示的组合的一种，

[表1]

  电极材料  电极膜厚  欧拉角的θ  Gu  0.02λ≤Cu≤0.04λ  70°≤θ≤145°  Cu  0.04λ＜Cu≤0.08λ  70°≤θ≤151°

3.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，

还具备：

电介质膜，其覆盖在所述IDT及所述压电基板，且由SiO₂或以SiO₂为主要成分的无机材料构成。

4.根据权利要求3所述的弹性表面波装置，其特征在于，

在设定所述弹性表面波的波长为λ的情况下，所述IDT的以λ来标准化而成的标准化膜厚、作为所述电介质膜的SiO₂膜的以λ来标准化而成的标准化膜厚、所述LiNbO₃基板的欧拉角(0°±10°，θ，0°±10°)的θ为下述表2～表4中所示组合的一种，

[表2]

[表2]

*表中的Cu膜厚及SiO₂膜厚表示各标准化膜厚×10²的值，

[表3]

*表中的Cu膜厚及SiO₂膜厚表示各标准化膜厚×10²的值，

[表4]

[表4]

*表中的Cu膜厚及SiO₂膜厚表示各标准化膜厚×10²的值。