[发明专利]弹性表面波装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如作为谐振子或带通滤波器而被使用的弹性表面波装置，更详细而言，涉及具有形成有由在电压基板上的槽中所填充的Cu构成的IDT的结构的弹性表面波装置。

背景技术

以往，弹性表面波装置作为谐振子或带通滤波器被应用得较广泛。例如在下述的专利文献1中公开了在图16中简略图地(略図的に)表示剖面结构的弹性表面波装置100。

在弹性表面波装置1001中，在LiNbO₃基板1002的上表面1002a形成有多条槽1002b。在多条槽1002b中填充有金属，由此形成具有由该金属构成的多条电极指(電極指)的ITD1003。按覆盖LiNbO₃基板1002的上表面1002a的方式层叠有SiO₂膜1004。由于LiNbO₃基板1002具有负的频率温度系数TCF，因此通过层叠具有正的频率温度系数TCF的SiO₂膜1004而减小了弹性表面波装置1001的频率温度系数TCF的绝对值。

另外，通过埋入在多条槽1002b中的金属形成IDT，从而在IDT中得到了较大的反射系数。具体而言，示出了当设定表面波的波长为λ时，在将槽1002b中所填充的Al的厚度即由Al构成的IDT的厚度设定为0.04λ的情况下，每一条电极指的反射系数为0.05，并且电极厚度越大则所得到的反射系数就越大。

另一方面，在下述的专利文献2中公开了图17中所示的弹性表面波装置。在弹性表面波装置1101中，在由LiTaO₃或LiNbO₃构成的压电基板1102上形成有IDT1103。另外，按覆盖IDT1103的方式形成有保护膜1104。另一方面，在形成有IDT1103及保护膜1104的部分之外的剩余区域中形成有由SiO₂构成的第一绝缘物层1105，其厚度等于将IDT1103及保护膜1104层叠而构成的层叠金属膜之厚度。而且，按覆盖第一绝缘物层1105的方式使由SiO₂构成的第二绝缘物层1106层叠。这里示出了作为IDT1103通过使用比Al密度更大的金属而能够增大反射系数的绝对值并能够抑制不希望的波纹(リツプル)的情况。

专利文献1：WO2006/011417A1

专利文献2：JP特开2004-112748号公报

在专利文献1中所述的弹性表面波装置1001中示出了由Al构成的IDT的厚度越大则越能够增大反射系数的绝对值的旨意(旨)。但是，本申请的发明者发现仅增大反射系数的绝对值是不能得到良好谐振特性。即，发现在专利文献1中所述的弹性表面波装置中，虽然通过对由Al构成的电极的厚度进行加厚而能够增大反射系数的绝对值，但由于反射系数的符号为负值，不能在通带中产生多个波纹而得到良好的谐振特性。

在专利文献1中，关于IDT的厚度与反射系数之间的关系，只说明了在LiTaO₃基板上使用由Al构成的IDT的情况。另外，在专利文献1的段落0129中，暗示(示唆)有在LiNbO₃基板上也可以使用由Au等其它金属形成IDT的旨意，但是只公开了由Au构成的IDT。

另一方面，在专利文献2中，如上所述，在使用由比Al密度更大的金属构成的IDT的情况下，虽然示出了能够提高反射系数的绝对值的旨意，但在能够增大所得弹性表面波装置的机电耦合系数方面，没有特别的提及。

另外，在上述LiNbO₃基板上设置的槽中填充Au而形成的IDT结构中，存在以下问题，即：为得到充分大的机电耦合系数k²，能够使用的LiNbO₃基板的欧拉角范围较窄。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种弹性表面波装置，该弹性表面波装置消除以往技术的缺点，作为压电基板而使用LiNbO₃基板，并且不仅IDT的反射系数为充分大而且机电耦合系数k²也较大，可使用LiNbO₃基板的欧拉角范围比较为宽，并可提高设计自由度。

根据本发明，提供一种弹性表面波装置，其特征在于具备：压电基板，其由LiNbO₃基板构成并在上表面形成有多条槽；IDT，其具有由在所述压电基板上表面的多条槽中所填充的金属材料构成的多条电极指，所述金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成。