[发明专利]MEMS谐振器结构以及结合所述谐振器结构使用的方法

权利要求书

1.一种微机电谐振器，包括：

以体模式振动的谐振器块，所述振动包括所述谐振器块至少部分沿第一方向和第二方向中的至少一个方向收缩的第一状态，并且其中在所述第一状态下，所述谐振器块至少部分沿第三方向和第四方向中的至少一个方向膨胀，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第四方向与所述第三方向相反，其中，所述谐振器块包括：

第一多个区域，所述第一多个区域分别具有密度；以及

第二多个区域，所述第二多个区域分别具有密度，其中所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同；并且

其中，所述第二多个区域被设置成非均匀结构。

2.如权利要求1所述的微机电谐振器，其中，所述谐振器块耦合到基底锚。

3.如权利要求2所述的微机电谐振器，还包括设置在所述谐振器块与所述基底锚之间的耦合部分。

4.如权利要求1所述的微机电谐振器，还包括至少一个感测电极以提供表明所述谐振器块的振动的感测信号。

5.如权利要求4所述的微机电谐振器，其中，所述感测信号包括差分感测信号。

6.如权利要求4所述的微机电谐振器，还包括感测电路以接收所述感测信号并且响应于所述感测信号而提供输出信号。

7.如权利要求6所述的微机电谐振器，其中，所述输出信号包括差分输出信号。

8.如权利要求1所述的微机电谐振器，还包括至少一个驱动电极以接收驱动信号来诱使所述谐振器块振动。

9.如权利要求8所述的微机电谐振器，还包括驱动电路以接收所述输出信号并且响应于所述输出信号而提供所述驱动信号。

10.如权利要求9所述的MEMS阵列结构，其中，所述驱动信号包括差分驱动信号。

11.如权利要求1所述的微机电谐振器，其中，所述第二多个区域中的每一个区域具有彼此相同的配置。

12.如权利要求1所述的微机电谐振器，其中，所述第二多个区域包括第一区域和第二区域。

13.如权利要求1所述的微机电谐振器，其中，所述第二多个区域中的至少一个区域具有与所述第二多个区域中的至少一个其它区域不同的配置。

14.如权利要求13所述的微机电谐振器，其中，所述谐振器块具有第一主外表面并且所述第二多个区域中的第一区域具有与所述第一主外表面平行的第一截面。

15.如权利要求14所述的微机电谐振器，其中，所述第二多个区域中的所述第一区域和第二区域分隔开第一距离并且所述第一截面具有所述第一距离的至少一半的第一尺度。

16.如权利要求15所述的微机电谐振器，其中，所述第一尺度大于所述第一距离。

17.如权利要求15所述的微机电谐振器，其中，所述第一尺度是所述第一截面的直径。

18.如权利要求15所述的微机电谐振器，其中，所述第一尺度是所述第一截面的长度。

19.如权利要求15所述的微机电谐振器，其中，所述第一截面具有第二尺度。

20.如权利要求19所述的微机电谐振器，其中，所述第二尺度是所述第一截面的宽度。

21.如权利要求20所述的微机电谐振器，其中，所述第二尺度小于所述第一距离的一半。

22.如权利要求1所述的微机电谐振器，其中，所述第二多个区域包括多个开口。

23.如权利要求22所述的微机电谐振器，其中，所述多个开口中的每一个开口具有彼此相同的配置。

24.如权利要求22所述的微机电谐振器，其中，所述多个开口中的至少一个开口具有与所述多个开口中的至少一个其它开口不同的配置。

25.如权利要求22所述的微机电谐振器，其中，所述多个开口包括第一开口和第二开口。

26.如权利要求25所述的微机电谐振器，其中，所述谐振器块具有第一主外表面并且所述第一开口具有与所述第一主外表面平行的第一截面。