[发明专利]有机EL装置的制造方法、有机EL装置、电子仪器有效
申请号: | 200910001334.X | 申请日: | 2004-10-15 |
公开(公告)号: | CN101452949A | 公开(公告)日: | 2009-06-10 |
发明(设计)人: | 小林英和 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/50;H01L21/82;H01L51/56 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 el 装置 制造 方法 电子仪器 | ||
本申请是申请日为2004年10月15日、申请号为200410085297.2、发明名称为“有机EL装置的制造方法、有机EL装置、电子仪器”的分案申请。
技术领域
本发明是关于有机EL装置的制造方法、有机EL装置、以及具有该有机EL装置的电子仪器。
背景技术
以往作为能够进行全色显示的有机电致发光装置(以下称作有机EL装置),已知有将白色发光层和滤色片组合的装置(例如,参照专利文献1)。这种有机EL装置,由于R、G、B的各像素寿命非常均匀,所以长时间使用时也能保持良好的色平衡。
[专利文献1]特开平10-125474号公报
然而,上述现有的白色发光层是由低分子发光材料形成的,因此,对其成膜使用蒸镀法。由此,难以保证材料的有效利用。
发明内容
本发明就是鉴于这种事实,其目的是提供一种能有效利用材料而降低制造成本的有机EL装置的制造方法,和该有机EL装置,以及具有该有机EL装置的电子仪器。
为了解决上述课题,本发明的有机EL装置的制造方法,其特征在于,在具有白色发光层和滤色片的有机EL装置的制造方法中,上述白色发光层是通过液滴喷出法形成的。
该方法中,由于是通过液滴喷出法只在所定的区域内有选择性地配置发光材料,所以能有效地使用高价的发光材料。该方法中,为了能很好地进行液滴喷出,所以白色发光层最好由高分子材料形成。所谓“高分子”是指分子量比分子量为数百的所谓“低分子”大的聚合物,上述高分子材料中,除了包括一般称作高分子的分子量在10000以上的聚合物外,还可包括分子量在10000以下的称作低聚物的低聚物。
然而,上述方法中,不仅是白色发光层,而且上述滤色片最好也通过液滴喷出法形成。这种情况下,白色发光层和滤色片的形成方法,根据有机EL装置是底部发射结构,还是顶部发射结构而进行决定,但作为其方法,例如可考虑如下方法。
(1)具有:通过液滴喷出法,在一块基板上形成上述滤色片的工序;和通过液滴喷出法,在同一基板上的上述滤色片上方形成上述白色发光层的工序。
(2)具有:通过液滴喷出法,在一块基板上形成上述白色发光层的工序;和通过液滴喷出法,在同一基板上的上述白色发光层上方形成上述滤色片的工序。
(3)具有:通过液滴喷出法,在一块基板上,形成上述白色发光层的工序;通过液滴喷出法,在与上述基板不同的基板上形成上述滤色片的工序;和将两块基板贴合在一起的工序。
上述(1)是形成有机EL装置具有底部发射结构时的方法,上述(2)、(3)是形成有机EL装置具有顶部发射结构时的方法。
上述(1)、(2)的方法是在同一块基板上,依次形成白色发光层和滤色片,与上述(3)分别在不同的基板上形成,再将两基板贴合的方法不同,是不需要进行位置吻合(对位)。由此,能够高精度化。反之,(3)的方法,就高精度化而言,比上述(1)、(2)方法稍差些,但由于将白色发光层和滤色片分别制作在不同的基板上,所以就合格率而言,是有利的。
如上述(2)的方法,在白色发光层上制作滤色片时,最好在上述白色发光层和滤色片之间形成保护膜,以使在形成该滤色片的工序中,不会导致下面的白色发光层劣化。
上述(2)的方法中,在形成上述滤色片的工序之前,最好在上述保护膜的表面上形成疏液部图案,在形成上述滤色片的工序中,通过液滴喷出法,在上述疏液部以外的区域内,配置包括形成上述滤色片材料的液体材料。这时,形成疏液部的工序可以通过具有以下工序的工序进行,例如,将含氟气体作为处理气体,对上述保护膜的表面实施等离子体处理的工序;和相对于实施了上述等离子体处理的保护膜,对形成上述滤色片的区域有选择性地照射紫外线的工序。一般是形成滤色片时,首先,利用光刻法形成围堰(bank)层,在由该围堰层围成的区域内,配置滤色片的形成材料。然而,将该方法适用于上述(2)时,形成围堰层时的湿法工艺会导致下面白色发光层劣化。为此,采用不使用湿法工艺的本方法,能够制造出信赖性高的有机EL装置。因此,通过在阴极上形成的保护膜中混入紫外线吸收剂,可以保护发光层,免受为在像素区域付与亲液性的紫外线影响。
另外,本发明的有机EL装置的制造方法,其特征在于,在制造具有发白色光的白色发光层、发白色光以外其他色光的色发光层、和滤色片的有机EL装置的方法中,通过液滴喷出法形成上述白色发光层和色发光层。本方法中,可与上述白色发光层相对应形成上述滤色片。或者,与上述白色发光层和上述色发光层双方都对应而形成上述滤色片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的