[发明专利]组合式晶片储存盒的储存机台

权利要求书

1.一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，由两行晶片储存模 块、一滑动空间以及一机械手臂所组成；

其中，该滑动空间设于所述晶片储存模块之间；以及

该机械手臂于该滑动空间中移动以抓取该晶片；

所述晶片储存模块包括一暂存输出端口，用以暂存一待输出晶片，该机 械手臂还用于直接移动至暂存输出端口抓取待输出晶片放置于输出及输入 端口。

2.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台还包括一外壳，该外壳容纳所述晶片储存模块、该滑动空间以及该机械 手臂。

3.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台还包括一滚轮，该滚轮设于该组合式晶片储存机台的一底面，使该组合 式晶片储存机台可被移动。

4.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台还包括一止挡部，该止挡部位于该组合式晶片储存机台的一底面，而该 晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室的地面上，而该止挡 部与该定位部嵌合，使该组合式晶片储存机台固定于该晶片制造室的该地面 上。

5.如权利要求4所述的组合式晶片储存机台，其中，该止挡部为T形结 构。

6.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台的长度为1.3米，宽度为80厘米。

7.如权利要求1所述的组合式晶片储存机台，其中，所述晶片储存模块 包括晶片储存格。

8.一种组合式晶片储存机台，设于一晶片制造室中，包括：

两行晶片储存模块；

一滑动空间，设于所述晶片储存模块之间；

一机械手臂，于该滑动空间中移动该晶片；以及

一止挡部，而该晶片制造室包括一定位部，该定位部设于该晶片制造室 的地面上，而该止挡部与该定位部嵌合，使该组合式晶片储存机台固定于该 晶片制造室的该地面上；

其中，所述晶片储存模块包括一暂存输出端口，用以暂存一待输出晶片， 该机械手臂还用于直接移动至暂存输出端口抓取待输出晶片放置于输出及 输入端口。

9.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该止挡部为T形结 构。

10.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台还包括一外壳，该外壳容纳所述晶片储存模块、该滑动空间以及该机械 手臂。

11.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台还包括一滚轮，该滚轮设于该组合式晶片储存机台的一底面，使该组合 式晶片储存机台可被移动。

12.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，其中，该组合式晶片储存 机台的长度约为1.3米，宽度为80厘米。

13.如权利要求8所述的组合式晶片储存机台，所述晶片储存模块包括晶 片储存格。