[发明专利]具有微电铸探针的探针座

权利要求书

1.一种具有微电铸探针的探针座，其特征在于包括：

多根微电铸探针，每一微电铸探针包括一上接触端、一弯折段、及一下接触端，该弯折段连接于该上接触端与该下接触端之间，该弯折段至少包括有一曲折结构，该曲折结构提供该上接触端与该下接触端彼此轴向趋近或轴向远离的弹性变形；以及

一探针座，其包括一本体、及一底盖，该本体的中央部位凹设有一底凹槽，该底凹槽内固设有该底盖，该本体的该中央部位贯设有多个上穿孔，每一上穿孔上方设有一上颈部，该底盖贯设有多个下穿孔其分别对应至该多个上穿孔，每一下穿孔下方设有一下颈部，该多根微电铸探针分别容设于相对应的该多个上穿孔、及该多个下穿孔内，每一微电铸探针的该上接触端凸伸出该上颈部之外，每一微电铸探针的该下接触端凸伸出该下颈部之外。

2.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，每一微电铸探针的该上接触端包括至少一刺棘。

3.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，每一微电铸探针弯折段的该曲折结构为一锯齿状线体。

4.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，该多根微电铸探针以下列方式制作：

涂布一光阻层于一基板上；

透过曝光、显影与刻蚀方式于该光阻层上开出具有上述探针外型的多个探针开口；

透过微电铸工艺以于该多个探针开口内电镀沉积并形成该多根微电铸探针；以及

除去该光阻层与该基板并取下该多根微电铸探针。

5.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，每一微电铸探针的该上接触端还设有一肩部，该肩部对应顶抵于该上颈部。

6.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，每一微电铸探针的该下接触端还设有一肩部，该肩部对应顶抵于该下颈部。

7.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，该探针座还包括一芯片定位架，该芯片定位架固设于该探针座上方。

8.如权利要求1所述具有微电铸探针的探针座，其特征在于，该探针座的每一上穿孔、及每一下穿孔均为四方形穿孔。