[发明专利]抵消反作用力的装置,其设定和使用方法及涂布机

权利要求书

1.一种用于抵消反作用力的装置，包括：

支承体，所述支承体以相对于可动体支承件沿X轴方向移动的方式 安装到所述可动体支承件；

可动体，所述可动体沿着所述支承体在X轴方向上线性移动；

软件振动控制单元，所述软件振动控制单元以输入成形方法修正用 于所述可动体的驱动的基准命令集，并且输出以所述输入成形方法修正 的成形命令，以控制所述可动体的驱动，由此减小在驱动所述可动体时 产生的振动；和

机械反作用力抵消单元，所述机械反作用力抵消单元联结到所述支 承体，并且使用质量体来抵消在沿着所述支承体加速或减速所述可动体 时施加在所述支承体上的反作用力。

2.如权利要求1中所述的装置，还包括：

振动感测部分，所述振动感测部分用于探测在驱动所述可动体过程 中产生的所述可动体的振动，其中

响应于在驱动所述可动体的过程中产生的、并且由所述振动感测部 分探测到的实际振动感测结果，所述软件振动控制单元修正所述成形命 令，并输出命令。

3.如权利要求1中所述的装置，其中所述机械反作用力抵消单元包 括通过连接单元联结到所述支承体的质量体。

4.一种设定在权利要求1到3中任一项所述的反作用力抵消装置的 质量体的方法，所述方法包括：

a)在通过软件振动控制单元的输入成形控制方法使振动的产生减 小的状态下，测量可动体的加速度值；和

b)基于在a)步骤测量到的所述可动体的加速度值，设定机械反作 用力抵消单元的质量体的目标加速度，并且确定所述机械反作用力抵消 单元的所述质量体的质量。

5.一种使用权利要求2中所述的反作用力抵消装置来抵消反作用 力的方法，所述方法包括：

a)使用软件振动控制单元将在驱动可动体的过程中产生的振动最 小化，并且使用机械反作用力抵消单元减小在沿X轴方向加速或减速所 述可动体时产生的反作用力导致的振动；

b)在a)进行的同时，测量由振动感测部分探测到的所述可动体的 振动量，并且将所述振动量反馈到所述软件振动控制单元；以及

c)使用在b)处反馈的数据，在所述软件振动控制单元中修正成形 命令，由此进行控制，以将在驱动所述可动体的过程中产生的所述振动 最小化。

6.一种涂布机，包括：

框架，所述框架用于支承其上安装有基板的托台；

头支承件，所述头支承件以沿Y轴方向移动的方式安装到所述框架 的上部；

支承体，所述支承体以相对于所述头支承件沿X轴方向移动的方式 安装到所述头支承件；

头单元，所述头单元由所述支承体以沿所述X轴方向移动的方式支 承，并且具有喷嘴，从而将密封胶或液晶涂布到安装在所述托台上的基 板；

X轴驱动单元，所述X轴驱动单元用于沿所述支承体在所述X轴 方向上移动所述头单元；

软件振动控制单元，所述软件振动控制单元以输入成形方法修正用 于所述头单元的驱动的基准命令集，并且输出以所述输入成形方法修正 的成形命令，以控制所述头单元的驱动，由此减小在驱动所述头单元时 产生的振动；和

机械反作用力抵消单元，甚至是在沿Y轴方向移动所述头支承件， 以致所述支承体和所述头单元的位置沿所述Y轴方向被改变时，所述机 械反作用力抵消单元也用于使用联结到所述支承体的质量体来抵消在 沿X轴方向移动所述头单元时施加在所述支承体上的反作用力。

7.如权利要求6中所述的涂布机，还包括：

振动感测部分，所述振动感测部分用于探测在驱动所述头单元的过 程中产生的所述头单元的振动，其中

响应于在驱动所述头单元过程中产生的、并且由所述振动感测部分 探测到的实际振动感测结果，所述软件振动控制单元修正所述成形命 令，并输出命令。

8.如权利要求6中所述的涂布机，其中所述机械反作用力抵消单元 包括：

质量体，所述质量体安装在与所述框架间隔开的位置处；和

连接单元，所述连接单元连接在所述质量体和所述支承体之间，以 将反作用力从所述支承体传递到所述质量体。