[发明专利]抵消反作用力的装置,其设定和使用方法及涂布机

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于抵消由诸如运输遥控设备或精加工工具的传 递系统的移动产生的反作用力，因此减小振动的装置，一种设定所述 反作用力抵消装置的质量体的方法，一种使用反作用力抵消装置抵消 反作用力的方法和一种具有所述反作用力抵消装置的涂布机。

背景技术

通常，包括半导体制造设备或LCD制造设备的精加工遥控设 备，或包括运输机械的精密设备配备有线性系统，以便在沿X轴或 Y轴方向精确移动工作头(下文中称之为“可动体”)的同时执行操 作。

例如，将诸如包括在LCD制造设备中的涂布机的设备构造成， 在设置在头单元上的喷嘴和放置在托台上的基板之间执行相对移动 的同时，形成密封图案或滴落液晶。涂布机配备有通常称为线性引 导件的线性系统，以便沿X，Y和Z轴方向移动喷嘴或托台。

在可动体(移动部分)沿支承体(固定部分)线性移动的同时， 操作每个线性系统，即线性移动单元以移动或传递加工工具。当可 动体在增大或降低速度的同时沿支承体移动时，根据牛顿第三定律 (作用和反作用定律)，在支承体上不可避免地产生反作用力。将产 生的反作用力传递到支承体安装其中的整个设备，因此产生振动， 从而妨碍更精确地控制和驱动加工工具。

因此，已经对采用线性系统的多种精加工遥控设备和设备进行 研究，以减小由在系统的运转过程中产生的反作用力所导致的振动。

减小振动的方法使用机械反作用力系统和软件(S/W)振动控 制系统。机械反作用力系统是使用质量是可动体的质量的五倍或更 多倍的质量体来抵消反作用力，由此减小振动的系统。此外，S/W 振动控制系统是将特定输入量添加到线性机构的已有输入量以形成 最终输入量，由此控制可动体的移动，因此减小由可动体的操作所 产生的振动的系统。就是说，S/W振动控制系统使用以控制方法使 得振动最小化的方法，其中，当控制且驱动可动体时，另外输入与 固有频率相应的新的反向频率。

仅将机械反作用力系统或S/W振动控制系统中的任意一个设置 在具有线性系统的常规设备中以减振。然而，仅借助一种系统难以 获得更为理想的减振效果。

特别地，机械反作用力系统使用质量是可动体的质量的五倍或 更多倍的质量体来减振，使得构造质量体需要很高成本，并且质量 体占据了较大的安装空间，因此整个设备的构造是复杂的，且降低 了竞争力。

发明内容

因此，紧记现有技术中出现的上述问题已经作出了本发明，并 且本发明的目的是提供一种用于使用软件振动控制方法和机械反作 用力抵消方法，来更理想地减小加速系统中产生的振动的反作用力 抵消装置，一种设定反作用力抵消装置的质量体的方法，一种使用 反作用力抵消装置抵消反作用力的方法，以及一种具有该反作用力 抵消装置的涂布机。

本发明的另一目的是提供一种反作用力抵消装置，该反作用力 抵消装置检查软件振动控制单元的减振能力，由此使得构成机械反 作用力抵消单元的质量体的质量最小化，因而简化了整个遥控设备 和机器结构，并使得减振效果最大化，一种设定所述反作用力抵消 装置的质量体的方法，一种使用所述反作用力抵消装置抵消反作用 力的方法，和一种具有所述反作用力抵消装置的涂布机。

为了实现上述目的，本发明提供一种用于抵消反作用力的装置， 该装置包括：支承体，该支承体以相对于可动体支承件沿X轴方向 移动的方式安装到可动体支承件；可动体，该可动体沿支承体在X 轴方向上线性移动；软件振动控制单元，该软件振动控制单元以输 入成形方法修正用于驱动可动体的基准命令集，并输出以输入成形 方法修正的成形命令，以控制可动体的驱动，由此减小当驱动可动 体时产生的振动；和机械反作用力抵消单元，该机械反作用力抵消 单元联结到支承体，并且当沿着支承体加速或减速可动体时，使用 质量体抵消施加在支承体上的反作用力。

所述装置还包括振动感测部分，该振动感测部分用于探测在驱 动可动体的过程中产生的可动体的振动。响应于在驱动可动体的过 程中产生的、并且由振动感测部分探测到的实际振动感测结果，软 件振动控制单元修正成形命令，并且输出命令。

机械反作用力抵消单元包括通过连接单元联结到支承体的质量 体。