[发明专利]倒装芯片封装方法有效

专利信息
申请号: 200910003642.6 申请日: 2009-01-13
公开(公告)号: CN101777502A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 唐和明;赵兴华;李明锦;黄泰源;刘昭源;黄咏政;李德章;高仁杰;陈昭雄 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 倒装 芯片 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种倒装芯片封装方法,其特征在于:所述倒装芯片封装方法包含:

提供一基板条,所述基板条包含有至少一基板单元,所述基板条具有一上 表面及一下表面;

设置至少一芯片于所述基板单元,所述芯片电性连接所述基板单元;

设置一模板于所述基板条的所述上表面,所述模板与所述基板条之间具有 一气隙,所述模板具有一第一表面、一第二表面、至少一开口及至少一抽 气槽孔,所述开口贯穿所述第一表面与所述第二表面,所述抽气槽孔形成 于所述第二表面,其中所述气隙连通所述开口及所述抽气槽孔,且所述芯 片位于所述开口内;以及

形成一胶体于所述模板的所述开口以包覆所述芯片,并进行抽真空以通过 所述抽气槽孔及所述气隙将所述开口内的空气抽出。

2.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在设置所述芯片于 所述基板单元的步骤中,所述基板单元具有数个第一连接垫,所述芯片具 有一主动面、一背面及数个凸块,所述数个凸块连接所述数个第一连接垫; 且包含有:形成一底部填充胶于所述基板条的所述上表面,所述底部填充 胶包覆所述芯片的所述数个凸块,且所述底部填充胶显露所述芯片的所述 背面。

3.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在设置所述模板的 步骤中,所述抽气槽孔直接连通所述开口。

4.如权利要求2所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤前,包含有:设置一网板于所述模板的所述第一表面,所述网板具有 至少一遮罩部及数个镂空部,所述遮罩部覆盖于所述芯片的所述背面。

5.如权利要求4所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤后,所述胶体显露所述芯片的所述背面。

6.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤中,所述胶体利用挤压法形成于所述模板的所述开口。

7.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤后,包含有:进行一加热步骤以固化所述胶体。

8.如权利要求7所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在加热固化所述胶 体的步骤前,包含有:移除所述模板的步骤。

9.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤后,所述基板单元具有数个第二连接垫,所述数个第二连接垫形成于 所述下表面;且包含有:设置数个焊球于所述基板条的所述下表面,所述 数个焊球连接所述数个第二连接垫。

10.如权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于:在形成所述胶体的 步骤后,包含有:切割所述基板条以形成数个单离的倒装芯片封装构造。

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