[发明专利]倒装芯片封装方法有效

专利信息
申请号: 200910003642.6 申请日: 2009-01-13
公开(公告)号: CN101777502A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 唐和明;赵兴华;李明锦;黄泰源;刘昭源;黄咏政;李德章;高仁杰;陈昭雄 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L21/56
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 中国台湾高雄*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 倒装 芯片 封装 方法
【说明书】:

【技术领域】

发明是有关于一种封装方法,特别是有关于一种避免空气被胶体包覆 而形成气泡的封装方法。

【背景技术】

现有封装方法中包含有一点胶封装步骤以密封及保护芯片,如图1所示, 数个芯片120设置于一基板条110的一上表面111后,再利用一点胶工具10 进行点胶步骤,然在点胶步骤中,若一胶体130流动分布的速度控制不当则 容易将空气包覆在封装构造内,而造成封装构造内产生气泡V使得电绝缘性 或导热性不佳,甚而影响封装构造的使用寿命。

故,有必要提供一种倒装芯片封装方法,以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的主要目的在于提供一种倒装芯片封装方法,以避免将空气包覆 在封装构造内,进而提高封装构造的产品可靠度。

为达上述目的,本发明提供一种倒装芯片封装方法,其至少包含下列步 骤:首先,提供一具有一上表面及一下表面的基板条,所述基板条包含有一 基板单元;接着,设置一芯片于所述基板单元并电性连接所述基板单元;之 后,设置一模板于所述基板条的所述上表面,所述模板与所述基板条之间具 有一气隙,所述模板具有一贯穿一第一表面及一第二表面的开口及一形成于 所述第二表面的抽气槽孔,其中所述气隙连通所述开口及所述抽气槽孔,所 述芯片位于所述开口内;最后,形成一胶体于所述模板的所述开口以包覆所 述芯片,且通过所述抽气槽孔及所述气隙进行抽真空。本发明在形成胶体的 步骤中进行抽真空,并利用所述气隙连通所述开口及所述抽气槽孔的特征将 所述开口内的空气抽出,以防止空气残留于封装构造内。

在本发明的一实施例中,在设置所述芯片于所述基板单元的步骤中,所 述基板单元具有数个第一连接垫,所述芯片具有一主动面、一背面及数个凸 块,所述数个凸块连接所述数个第一连接垫;且另包含有:形成一底部填充 胶(underfill)于所述基板条的所述上表面,所述底部填充胶包覆所述芯片的 所述数个凸块,且所述底部填充胶显露所述芯片的所述背面。

在本发明的一实施例中,在设置所述模板的步骤中,所述抽气槽孔另直 接连通所述开口。

在本发明的一实施例中,在形成所述胶体的步骤前,另包含有:设置一 网板于所述模板的所述第一表面,所述网板具有至少一遮罩部及数个镂空 部,所述遮罩部覆盖于所述芯片的所述背面。

在本发明的一实施例中,所述胶体显露所述芯片的所述背面。

在本发明的一实施例中,在形成所述胶体的步骤中,所述胶体利用挤压 (Squeeze)法形成于所述模板的所述开口。

在本发明的一实施例中,在形成所述胶体的步骤后,另包含有:进行一 加热步骤以固化所述胶体。

在本发明的一实施例中,在加热固化所述胶体的步骤前,另包含有:移 除所述模板的步骤。

在本发明的一实施例中,在形成所述胶体的步骤后,所述基板单元另具 有数个第二连接垫,所述数个第二连接垫形成于所述下表面;且另包含有: 设置数个焊球于所述基板条的所述下表面,所述数个焊球连接所述数个第二 连接垫。

在本发明的一实施例中,在形成所述胶体的步骤后,另包含有:切割所 述基板条以形成数个单离的倒装芯片封装构造。

【附图说明】

图1:现有倒装芯片封装方法中于点涂形成封胶体的步骤中充满气泡的 截面示意图。

图2A至2I:依据本发明的一第一具体实施例,一种倒装芯片封装方法 的截面示意图。

图3:依据本发明的一第二具体实施例,另一种倒装芯片封装构造以一 网板覆盖芯片背面的截面示意图。

【具体实施方式】

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