[发明专利]感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷电路板

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过激光曝光进行图案形成的适合作为阻焊剂材料的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷电路板。

背景技术

一直以来，在形成阻焊剂(solder resist)等的等永久图案时，使用的是通过在支撑体上涂布、干燥感光性树脂组合物而形成感光层的感光性薄膜。作为所述永久图案的制造方法，例如在形成所述永久图案的镀铜层叠板等的基材上，层叠感光性薄膜而形成层叠体，对该层叠体中的感光层进行曝光，在该曝光后，显影所述感光层进而形成图案，然后通过进行固化处理等形成永久图案。

作为所述阻焊剂形成用的感光性组合物，例如有含有五氧化锑水合物等的离子吸附剂的感光性组合物(参照特开2000-159859号公报)。

另外，作为高灵敏度的感光性组合物的聚合引发剂已知有肟化合物(特开2007-231000号公报)。

最近被期待着提供对于在数字成像(DI)曝光时获得充分的灵敏度同时获得优良的新鲜贮存性，而且具有优良的绝缘可靠性的感光性组合物。

发明内容

本发明是鉴于该情况而提出的，课题是解决以往的上述各种问题，实现下面的目的。即，本发明的目的是提供一种高灵敏度和新鲜贮存性优良且绝缘可靠性高的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、永久图案形成方法及印刷电路板。

作为用于解决上述课题的手段，如下所示。即，

1.一种感光性组合物，其特征在于，含有粘合剂、聚合性化合物、肟衍生物和离子吸附剂。

2.根据上述1所述的感光性组合物，其中，离子吸附剂含有磷酸锆。

3.根据上述1或2所述的感光性组合物，进一步含有填料。

4.根据上述1～3中的任一项所述的感光性组合物，进一步含有热交联剂。

5.根据上述1～4中的任一项所述的感光性组合物，其中，肟衍生物为如下通式(1)所示，

通式(1)

通式(1)中，R¹表示氢原子、可具有取代基的酰基、烷氧羰基和芳氧基羰基中的任一个，R²分别独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基和氨基中的任一个，m表示0～4的整数，m为2以上时可彼此连接形成环，A表示4、5、6和7员环中的任一个。

6.根据上述5所述的感光性组合物，其中，肟衍生物为如下通式(2)所示，

通式(2)

通式(2)中，R¹表示氢原子、可具有取代基的酰基、烷氧羰基和芳氧基羰基中的任一个，R²分别独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基和氨基中的任一个，m表示0～4的整数，X表示CH₂、O和S中的任一个，1表示1～3的整数。

7.根据上述5所述的感光性组合物，其中，肟衍生物为如下通式(3)和(4)中的任一个所示，

通式(3)

通式(4)

所述通式(3)和(4)中，R¹表示氢原子、可具有取代基的酰基、烷氧羰基和芳氧基羰基中的任一个，R²分别独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基和氨基中的任一个，m表示0～4的整数，X表示CH₂、O和S中的任一个，l表示1～3的整数。

8.根据上述6或7所述的感光性组合物，其中，通式(2)、(3)和(4)中的X为O和S中的任一个，l为1和2中的任一个，R¹为可具有取代基的酰基和烷氧羰基中的任一个。

9.根据上述1～5中的任一项所述的感光性组合物，其中，聚合性化合物的I/O值的重量平均为0.5以下。

10.一种感光性薄膜，其特征在于，在支撑体上具有由上述1～9中的任一项所述的感光性组合物组成的感光层。

11.一种感光性层叠体，其特征在于，其在基体上具有由权利要求1所述的感光性组合物组成的感光层。

12.一种永久图案形成方法，其特征在于，至少包括对由上述1～9中任一项所述的感光性组合物形成的感光层进行曝光的步骤。

13.根据上述12所述的永久图案形成方法，其中，曝光是在用光调制机构调整光后，通过配置了微透镜的微透镜阵列来进行的，其中所述微透镜具有可以校正因该光调制机构中描绘部的射出面变形而产生的像差的非球面。

14.根据上述12或13所述的永久图案形成方法，其中，进行曝光后，对感光层进行显影。