[发明专利]薄膜形成方法、滤色器的制造方法

权利要求书

1.一种薄膜形成方法，一边使多个喷嘴和基板相对地进行扫描，一边从所述喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散有薄膜的形成材料的液状体，对所述基板上设定的有效区域所包含的多个规定区域分别配置所述液状体来形成所述薄膜，该薄膜形成方法包括：

在各个所述规定区域的周围设置隔壁，形成由所述隔壁和被所述隔壁包围的区域的底部所包围的多个容纳部的工序；和

从所述多个喷嘴向分别对应的所述多个容纳部配置所述液状体，形成所述薄膜的工序；

在形成所述容纳部的工序中，所述有效区域的边缘部配置的所述容纳部与所述有效区域的中央部配置的所述容纳部相比，所述有效区域的边缘部配置的所述容纳部的俯视面积形成得小。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其特征在于，

还包括：在形成所述容纳部的工序之前，针对所述多个规定区域的每一个，获得以规定的喷出条件喷出所述液状体时形成的所述薄膜的膜厚的测定值的工序，

在形成所述容纳部的工序中，根据获得的所述测定值来形成所述容纳部。

3.根据权利要求2所述的薄膜形成方法，其特征在于，

还包括：在形成所述容纳部的工序之前，针对所述多个喷嘴的每一个，测定所述规定的喷出条件中的所述液状体的喷出量的工序。

4.根据权利要求3所述的薄膜形成方法，其特征在于，

在测定所述喷出量的工序中，向控制了相对于所述液状体的接触角的测定基板上喷出所述液状体，利用光干涉法来测定喷出的所述液状体的量。

5.根据权利要求4所述的薄膜形成方法，其特征在于，

所述光干涉法是白色光干涉法。

6.根据权利要求3～5中的任一项所述的薄膜形成方法，其特征在于，

在测定所述喷出量的工序中，使喷出的所述液状体中所包含的溶剂蒸发，从而使所述形成材料的薄膜成膜，根据测定的该薄膜的体积计算所述喷出量。

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的薄膜形成方法，其特征在于，

使用光固化性树脂来形成所述隔壁。

8.一种滤色器的制造方法，在包括被基板和在所述基板上预先设定的像素区域的周围配置的隔壁包围的多个容纳部、配置了所述多个容纳部的有效区域、在所述容纳部内的所述像素区域形成的着色层、和通过电作用而发光或使光的状态发生变化的电光学元件的电光学装置中，俯视下重叠地安装所述电光学元件和所述像素区域，其中，

使所述容纳部的所述隔壁的侧壁的深度方向的一端部的俯视面积，在所述电光学元件所具备的像素电极的俯视面积以上且在所述深度方向的另一端部的俯视面积以下，

在所述有效区域的边缘部配置的所述着色层，通过利用权利要求1～7中的任一项所述的薄膜形成方法，将在溶剂中溶解或分散有所述着色层的形成材料的液状体配置到所述容纳部而形成。