[发明专利]薄膜形成方法、滤色器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用了液滴喷出法的薄膜形成方法、和使用了该薄膜形成方法的滤色器的制造方法。 

背景技术

近年来，利用液滴喷出法的薄膜形成技术被关注。液滴喷出法，因为能够根据使用的液滴喷出头的分辨率将微量的液状体涂敷在希望的位置，所以具有容易形成微小的图案、容易形成具有希望的膜厚的薄膜的优点。利用此优点，液滴喷出法被利用于，通过喷出例如将着色层(薄膜)的形成材料溶解或分散在溶剂中的液状体，制造需要区分涂敷微小的颜色的滤色器中。 

在液滴喷出头的液状体的喷出特性(喷出量)中，因成形误差等虽然微小但是在喷嘴间存在偏差。该喷出量偏差成为引起成形的薄膜的膜厚的差(膜厚不均匀)的原因，所以提出了各种方法来控制各个喷出嘴的喷出量并抑制偏差。例如在专利文献1中，提出了一种液滴喷出头，在液滴的喷出量与规定值相差较大的喷嘴中控制液滴喷出，在整体上喷出量的差异小。 

专利文献1：特开2003-159787号公报 

但是，由喷嘴间的喷出量偏差以外的原因也会引起形成的膜厚的薄膜不均匀。 

例如，在利用液滴喷出法的薄膜的形成中，能够以高分辨率喷出并涂敷微量的液滴，但在喷出到形成薄膜的基板上的液状体的干燥非常迅速。除此之外，基板上的涂敷区域的边缘部与涂敷区域的中央部相比，从液状组合物蒸发的溶剂分子的分压比低，换言之，溶剂蒸气浓度低，所以溶剂的蒸发进行得更快。伴随着溶剂的蒸发，在配置的液状体中，例如引起液状体从液状体内部向表面流动，但是此流动的状态在溶剂的蒸发活跃的区 域和不怎么蒸发的区域不同，所以结果，在形成的膜的状态中产生差异。 

图10是表示在溶剂的蒸发的情况不同的周围环境中，在容纳部200中配置包含薄膜形成材料的液状体L来形成薄膜的情况的示意图。图10(a)是表示在溶剂不怎么蒸发的环境下的成膜的情况，对应于上述涂敷区域的中央部中的成膜的情况的图。图10(b)是表示在溶剂的蒸发活跃的环境下的成膜的情况，对应于上述涂敷区域的边缘部中的成膜情况的图。 

如图10(a)所示，在溶剂不怎么蒸发的环境下，在配置的液状体的内部液状体不怎么流动，所以形成的薄膜F的形状成为反映所配置的液状体的液滴形状，中央部FC隆起为凸状的形状。 

相对地，如图10(b)所示，在溶剂蒸发活跃的环境下，在配置的液状体L的内部，例如活跃地发生从液状体内部向表面的流动。此外，在配置的液状体中也和上述理由同样，与液状体L的中央部相比液状体L的边缘部溶剂的蒸发活跃。因此，在液状体L的内部发生从中央部向边缘部的流动，所以在边缘部薄膜F的形成材料积蓄得多，结果，形成边缘部厚、中央部FC凹陷为凹状的薄膜F。 

如此，由溶剂蒸发的情况在形成的膜的状态中产生差异。而且，膜的状态的差异表现为薄膜中央部的凹凸所引起的膜厚的差异(膜厚不均匀)，所以成为显示不良(显示斑点)的原因。 

发明内容

本发明是鉴于这样的事情而形成的，其目的是提供一种按照液状体所包含的溶剂的蒸发的容易度，通过对喷出液状体的容纳部的大小进行控制，形成厚度均匀的高品质的薄膜的方法。 

为了解决上述课题，本发明的薄膜形成方法，一边使多个喷嘴和基板相对地进行扫描，一边从所述喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散有薄膜的形成材料的液状体，对所述基板上设定的有效区域所包含的多个规定区域分别配置所述液状体来形成所述薄膜，该薄膜形成方法包括：在各个所述规定区域的周围设置隔壁，形成由所述隔壁和被所述隔壁包围的区域的底部所包围的多个容纳部的工序；和从所述多个喷嘴向分别对应的所述多个容纳部配置所述液状体，形成所述薄膜的工序；在形成所述容纳部的工序中，所述有效区域的边缘部配置的所述容纳部与所述有效区域的中央部配置的所述容纳部相比，所述有效区域的边缘部配置的所述容纳部的俯视面积形成得小。

根据此方法，在有效区域的边缘部设置的容纳部中，配置的液状体在外部露出的表面的表面积比有效区域的中央部小。露出表面变小，则液状体包含的溶剂蒸发的面积变小，所以那样的话，溶剂的蒸发被相应程度地抑制。因此，在有效区域的边缘部和中央部设置的容纳部中，溶剂的蒸发量的差异减小，消除了干燥速度的差异所引起的膜厚不均匀，能够形成厚度均匀、高品质的薄膜。 

在本发明中，优选还包括：在形成所述容纳部的工序之前，针对所述多个规定区域的每一个，获得以规定的喷出条件喷出所述液状体时形成的所述薄膜的膜厚的测定值的工序，在形成所述容纳部的工序中，根据获得的所述测定值来形成所述容纳部。