[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

涂布器，该涂布器包括一对涂布头，该一对涂布头被设置成可在涂布 位置和清洗位置上交替地切换位置，在基板上涂布涂布液；

承压滚筒，该承压滚筒可旋转驱动地配置在与所述涂布器相对的位置 上，在外周上具有吸引孔，并一边吸引所述基板一边进行搬运；

搬运辊，该搬运辊配置在所述承压滚筒的上游侧和下游侧，一边吸引 所述基板一边进行搬运；

搬入输送机，该搬入输送机配置在所述上游侧的搬运辊的上游侧，将 所述基板朝承压滚筒搬入；

搬出输送机，该搬出输送机配置在所述下游侧的搬运辊的下游侧，将 所述基板从所述承压滚筒搬出；以及

清洗装置，该清洗装置在所述上游侧的搬运辊与所述搬入输送机之间、 或者在所述下游侧的搬运辊与所述搬出输送机之间对位于清洗位置的所述 涂布头进行清洗。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述搬运辊配置在比 所述承压滚筒低的位置上。

3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布器或所述清 洗装置设置成可在所述清洗位置上进行升降。