[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及在液晶显示器用滤色片、等离子显示器用玻璃基板、光学过滤 器、印制电路板等的制造中使用的、在基板上涂布涂布液来形成涂膜的涂布装 置。

背景技术

这种涂布装置分为：利用移送装置(基板移送机器人)来移送(transfer) 基板的基板移送式的涂布装置、以及利用搬运皮带来搬运(convey)基板的基 板连续搬运式的涂布装置。

作为基板移送式的涂布装置，在专利文献1中记载了如下的涂布装置，在 该涂布装置中，利用移送装置(基板搬运机器人)将基板朝载放台搬入，并使 载放台和涂布器中的任一方相对移动，从而在基板上形成涂膜，之后，利用移 送装置将基板搬出。

另外，在专利文献2中记载了如下的涂布装置，在该涂布装置中，使工作 台可载放多个基板，在对载放于工作台的任意位置的基板形成涂膜的期间内， 在其它位置上利用移送装置来进行基板的排出和/或载放，由此来缩短处理一 块基板所需的时间。

但是，在这些基板移送式的涂布装置中，基板的更换需要时间，处理一块 基板所需的生产节拍时间(tact time)长，无法提高生产率。

作为基板连续搬运式的涂布装置，在专利文献3中记载了如下的涂布装 置，在该涂布装置中，在涂布器的前后设置有搬运皮带，在从前一工序搬入的 基板上放置弹性体框，并在通过设置于前部搬运皮带的孔来真空吸附该弹性体 框的同时搬运该弹性体框，使其经过涂布器，在对基板涂布之后，用后部搬运 皮带将其排出。

但是，在上述参考文献3的涂布装置中，由于在涂布器的部分上基板的吸 引力消失，因此存在基板与涂布器(coater)的模(die)之间的间隙大小不 恒定的问题。

另外，在专利文献4中记载了如下的涂布装置，在该涂布装置中，如图5 所示，在涂布器101的上游侧设置有使基板P移动用的驱动输送机102，在涂 布器101的下游侧设置有使基板P彼此抵靠用的、具有旋转阻力的驱动输送机 103，在这些输送机102、103之间设置有具有定旋转阻力的输送机104，在利 用设置于各输送机102、103、104的皮带的正下方的吸引工作台105来吸引多 个基板P的同时，不留间隙地使多个基板P连续移动，利用涂布器101对各基 板P涂布涂料106。

但是，在该参考文献4的涂布装置中，由于在驱动输送机102、103、104 的皮带上进行涂布，因此很难将皮带的平面度保持在规定的公差内(例如10 μm)，依然会存在基板P与涂布器101的模之间隙不恒定的问题。另外，由 于在连续移动的基板P与相邻的基板P之间不留间隙地连续涂布，因此存在无 法进行在基板P的整周留下把持用的余白的、所谓的边缘涂装(frame coating； 参照图6)的问题。另外，由于驱动输送机102、103、104存在速度差，因此 基板P的背面与驱动输送机102、103、104的皮带之间会产生打滑，在基板P 上可能会产生损伤。

另外，虽然也有像参考文献5、6那样在用辊吸引薄膜状被涂布体的同时 进行涂布的方法，但这种方法无法用于玻璃基板等。

专利文献1：日本专利特开2000-197844号公报

专利文献2：日本专利特开2002-102771号公报

专利文献3：日本专利特开2000-151074号公报

专利文献4：日本专利特开2002-45775号公报

专利文献5：日本专利特开平5-277418号公报

专利文献6：日本专利特开平6-039333号公报

发明内容

鉴于上述以往的问题，本发明的目的在于，提供可使基板与涂布器之间的 间隙变得稳定的涂层装置、可对每块基板逐一进行速度控制、从而可进行边缘 涂装的涂层装置、以及在基板的背面上不会产生损伤的涂层装置。

为了解决上述问题，本发明的特征是，包括：在基板上涂布涂布液的涂布 器；可旋转驱动地配置在与上述涂布器相对的位置上、在外周上具有吸引孔、 并一边吸引上述基板一边进行搬运的承压滚筒；以及在上述承压滚筒的上游侧 和下游侧搬运上述基板的搬运辊。

最好上述搬运辊一边吸引上述基板一边进行搬运。这种情况下，最好上述 搬运辊配置在比上述承压滚筒低的位置上。