[发明专利]一种晶舟

权利要求书

1.一种晶舟，其特征在于包含：

顶板；

底板；

固定于上述顶板和底板之间的三个晶棒，且上述三个晶棒的分布呈圆形；

上述多个晶棒上形成有多个槽，且不同晶棒上的各槽的高度分别对应相等，形成用以水平支撑晶片的支撑部；以及

插入口，通过上述插入口将晶片送入上述晶舟内，上述插入口与上述各支撑部位于同一高度。

2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于上述呈圆形地分布的三个晶棒分别是第一、第二和第三晶棒，其中第一、第二晶棒位于所在圆形的同一直径上，第三晶棒位于与上述直径的夹角为30～150度的直径上。

3.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于上述呈圆形地分布的晶棒是三个，其中第一、第二晶棒位于所在圆形的同一直径上，第三晶棒位于垂直于上述直径的直径上。

4.根据权利要求3所述的晶舟，其特征在于上述插入口的中心位于上述第三晶棒所在直径与上述圆形的另一交点处。

5.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于上述晶棒的截面是圆形、半圆形、椭圆形、三角形中的一种。

6.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于上述晶棒的截面是圆形。