[发明专利]微影装置及微影装置的平衡晶片的方法

权利要求书

1.一种微影装置的平衡晶片的方法，包括：

将一晶片放置于该微影装置中，且该晶片被一夹盘支撑；

使用至少三个影像撷取组件，撷取该晶片上对应所述影像撷取组件的对 准记号；及

检查所述影像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度是否超 过一程度，若所述影像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度没有 超过该程度，调整该夹盘以平衡该晶片，当所述影像撷取组件所撷取的该晶 片上的对准记号的清晰度超过该程度时，停止调整该夹盘。

2.如权利要求1所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中所述影像撷 取组件是摄影机。

3.如权利要求2所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中所述摄影机 的聚焦范围大体上为20μm。

4.如权利要求1所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中依据所述影 像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度平衡该晶片的步骤包括：

检查所述影像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度是否超 过一程度；及

若所述影像撷取组件所撷取的该晶片上的对准记号的清晰度没有超过 该程度，调整该夹盘以平衡该晶片。

5.如权利要求4所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中当所有所述 影像撷取组件所撷取到该晶片上的对准记号的清晰度均超过该程度时，停止 调整该夹盘。

6.如权利要求4所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中该程度是80 度。

7.如权利要求1所述的微影装置的平衡晶片的方法，其中该方法还包 括：在平衡该晶片的步骤，同时使用所述影像撷取组件搜寻该晶片上对准记 号的位置，进行该晶片的对准步骤。