[发明专利]切割/芯片焊接膜有效
申请号: | 200910006428.6 | 申请日: | 2009-02-18 |
公开(公告)号: | CN101515564A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 村田修平;松村健;神谷克彦 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;C09J133/08 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 樊卫民;郭国清 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 芯片 焊接 | ||
1.一种具备切割膜和芯片焊接膜的膜,具备:在基材上具有放射线固化型粘合剂层的切割膜、和设置于该粘合剂层上的芯片焊接膜,其中,
所述粘合剂层中的粘合剂含有丙烯酸类聚合物,
所述丙烯酸类聚合物含有作为主要单体的由CH2=CHCOOR表示的丙烯酸酯和相对于所述丙烯酸酯含量为10~30摩尔%且与所述丙烯酸酯可共聚的含羟基单体,式中,R是碳原子数为6~10的烷基,
所述丙烯酸类聚合物的重均分子量在35万~100万的范围内,
所述丙烯酸类聚合物的酸值为0.01~1,碘值在5~10的范围内,
且所述粘合剂含有在分子中具备2个以上对羟基显示反应性的官能团的交联剂。
2.如权利要求1所述的具备切割膜和芯片焊接膜的膜,其中,所述丙烯酸类聚合物的羟值在7~30的范围内。
3.如权利要求1所述的具备切割膜和芯片焊接膜的膜,其中,由所述CH2=CHCOOR表示的单体,相对于全部单体成分,其含量在50~91摩尔%的范围内,式中,R是碳原子数为6~10的烷基。
4.如权利要求1所述的具备切割膜和芯片焊接膜的膜,其中,所述CH2=CHCOOR为丙烯酸辛酯、丙烯酸-2-乙基己酯、或者丙烯酸异辛酯,式中,R是碳原子数为6~10的烷基。
5.如权利要求1所述的具备切割膜和芯片焊接膜的膜,其中,所述粘合剂层在放射线照射前的23℃下的拉伸弹性率在0.4~3.5Mpa的范围内,且在放射线照射后的23℃下的拉伸弹性率在7~100Mpa的范围内。
6.如权利要求1所述的具备切割膜和芯片焊接膜的膜,其中,所述交联剂为选自异氰酸酯类交联剂、环氧类交联剂、氮杂环丙烷类交联剂以及三聚氰胺类交联剂中的至少1种。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日东电工株式会社,未经日东电工株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910006428.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:连接器
- 下一篇:等离子体处理装置和等离子体处理装置的挡板
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造