[发明专利]输送容器及其盖装卸装置、输送容器的盖装卸系统无效
申请号: | 200910007656.5 | 申请日: | 2009-02-16 |
公开(公告)号: | CN101515559A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 永田龙彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社来易特制作所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/673 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 雒运朴;李 伟 |
地址: | 日*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送 容器 及其 装卸 装置 系统 | ||
1.一种输送容器的盖装卸装置,使内部被保持为高清洁度的输送容器的开口部的盖部件,与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合,在密闭所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下,装卸所述盖部件,其特征在于,
具有:可供所述输送容器载置、能够沿规定的移动方向移动的工作台;以及
与所述规定的移动方向近似垂直地设置于所述工作台的连结销,该连结销与设置于所述输送容器下表面的V字剖面槽中、且近似垂直于所述规定的移动方向的固定面卡合。
2.根据权利要求1所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
所述工作台的所述规定的移动方向为水平方向,
所述连结销的轴向为铅垂方向,
所述固定面是使所述V字剖面槽内凹陷而设置的凹部的铅垂方向的内壁。
3.根据权利要求2所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
所述连结销具有设置于前端部的平面部,通过使所述平面部与在所述输送容器的所述凹部的底部设置的平面面接触,来进行所述输送容器的铅垂方向的定位。
4.根据权利要求3所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
具备检测部,对所述连结销的所述平面部、与所述输送容器的底部的所述平面面接触的情况进行检测。
5.根据权利要求2所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
具有V字斜面抵接部,其通过与所述V字剖面槽的斜面抵接来进行所述输送容器的铅垂方向的定位。
6.根据权利要求1所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
所述工作台的所述规定的移动方向为水平方向,
在所述连结销的前端缘部设置有剖面形状为锥状的引导部,所述引导部将所述固定面向所述连结销引导。
7.根据权利要求1所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
所述工作台的所述规定的移动方向为水平方向,
在所述连结销的前端缘部设置有剖面形状为圆弧状的引导部,所述引导部将所述固定面向所述连结销引导。
8.根据权利要求1所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
具备:通过与所述V字剖面槽的斜面相接来将所述固定面向所述连结销引导的基部引导部;
将所述连结销保持为能够在所述连结销的轴向移动的基部;和
向使所述连结销沿轴向从所述基部突出的一侧施力的施力部件;
所述连结销,
在所述基部引导部对所述固定面进行引导的过程中,通过被所述V字剖面槽的斜面按压而按入到所述基部内部,
在由所述基部引导部引导所述固定面的状态下,被所述施力部件施力而从所述基部突出。
9.根据权利要求8所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
具备对所述连结销从所述基部突出的状态进行检测的检测部。
10.根据权利要求8所述的输送容器的盖装卸装置,其特征在于,
所述基部引导部是在将所述固定面向所述连结销引导的状态下,通过与所述V字剖面槽的斜面抵接,来进行所述输送容器的铅垂方向定位的V字斜面抵接部。
11.一种输送容器,使内部被保持为高清洁度的输送容器的开口部的盖部件,与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合,在密闭所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下,利用盖装卸装置来装卸所述盖部件,其特征在于,
具有设置在该输送容器下表面的V字剖面槽的固定面,该固定面与设置在可供该输送容器载置、且能够沿规定的移动方向移动的所述盖装卸装置的工作台上的连结销卡合,其中,所述固定面、连结销分别设置成与所述规定的移动方向近似垂直。
12.根据权利要求11所述的输送容器,其特征在于,
所述工作台的所述规定的移动方向为水平方向,
所述固定面是使所述V字剖面槽内凹陷而设置的凹部的铅垂方向的内壁,
所述连结销的轴向为铅垂方向。
13.根据权利要求11所述的输送容器,其特征在于,
在所述凹部的底部具有平面,通过所述底部的平面与设置在所述连结销的前端的平面部面接触,来进行该输送容器的铅垂方向定位。
14.一种输送容器的盖装卸系统,具备内部被保持为高清洁度的输送容器和盖装卸装置,该盖装卸装置使所述输送容器的开口部的盖部件,与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合,在密接所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下,装卸所述盖部件,该送容器的盖装卸系统的特征在于,
所述盖装卸装置具有设置在可供所述输送容器载置、且能够沿规定的移动方向移动的工作台上的连结销,且该连结销被设置成与所述规定的移动方向近似垂直,
所述输送容器具有设置于所述输送容器下表面的V字剖面槽的固定面,该固定面被设置成与所述规定的移动方向近似垂直,并且与所述连结销卡合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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