[发明专利]缺陷检测装置及方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，该缺陷检测装置具有：

照明装置，其针对透过检查光的检查对象以预定角度倾斜地照射该检查光，该检查光具有入射到检查对象下表面的入射光、和由检查对象下表面反射的反射光；

移动装置，其使该检查对象和所述照明装置在倾斜于所述检查光的方向上以预定速度相对移动；

检测装置，其通过所述入射光和反射光来检测所述检查对象的缺陷；

时间间隔检测装置，其检测基于所述入射光的缺陷检测与基于所述反射光的缺陷检测之间的时间间隔；以及

运算装置，其根据所述预定角度、所述预定速度和所述时间间隔来运算所述缺陷的高度方向位置。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其中，所述检测装置具有：

对所述检查对象下表面进行成像的成像镜头；以及

设置在该成像镜头的成像面上的CCD。

3.一种缺陷检测方法，其特征在于，该缺陷检测方法包括以下步骤：

针对透过检查光的检查对象，以预定角度倾斜地照射来自照明装置的检查光，使该检查光入射到检查对象下表面，并由检查对象下表面反射的步骤；

使该检查对象和所述照明装置在倾斜于所述检查光的方向上以预定速度相对移动的步骤；

通过所述入射的光和反射的光来检测所述检查对象的缺陷的步骤；

检测基于所述入射的光的缺陷检测与基于所述反射的光的缺陷检测之间的时间间隔的步骤；以及

根据所述预定角度、所述预定速度和所述时间间隔来运算所述缺陷的高度方向位置的步骤。