[发明专利]缺陷检测装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及缺陷检测装置。

背景技术

在用于印刷布线基板的制造等的曝光装置中，描绘有曝光图案的光掩模支承在透过曝光光的玻璃上。

在曝光装置中，在使光掩模与基板紧贴的接触曝光装置中使用的玻璃厚且大，因此在内部可能包含气泡和异物。

这些气泡和异物根据玻璃的厚度方向的高度位置，给曝光造成的影响不同。例如，在曝光时，曝光对象即基板的抗蚀剂面位于玻璃的下表面侧，在气泡和异物处于靠近玻璃下表面的位置时，即靠近抗蚀剂面时，给曝光带来的不良影响变大。反之在靠近玻璃上表面存在缺陷时，不良影响变小。

为了检测这种玻璃内部的缺陷和异物，如下述专利文献1～5所示提出了各种方案。

【专利文献1】日本特开平11-264803号公报

【专利文献2】日本特开2005-156416号公报

【专利文献3】日本特开2005-201887号公报

【专利文献4】日本特开2006-49078号公报

【专利文献5】日本特开2006-112955号公报

但是在现有的任意结构中都存在如下的问题：不能检测缺陷和异物的高度方向位置，不能正确识别缺陷和异物给曝光带来的影响。

发明内容

本发明的目的在于解决上述现有技术的问题。

为了达到上述目的，本发明的缺陷检测装置的特征在于，该缺陷检测装置具有：照明装置，其针对透过检查光的检查对象以预定角度倾斜地照射该检查光，该检查光具有入射到检查对象下表面的入射光、和由检查对象下表面反射的反射光；移动装置，其使该检查对象和所述照明装置在倾斜于所述检查光的方向上以预定速度相对移动；检测装置，其通过所述入射光和反射光来检测所述检查对象的缺陷；时间间隔检测装置，其检测基于所述入射光的缺陷检测与基于所述反射光的缺陷检测之间的时间间隔；以及运算装置，其根据所述预定角度、所述预定速度和所述时间间隔来运算所述缺陷的高度方向位置。

通过上述结构，能够检测检查对象的缺陷并且检测该缺陷的高度方向的位置。此外，使用由检查对象下表面反射的反射光，因此不会将附着在检查对象下表面的灰尘等检测为缺陷。

此外，所述检测装置可以构成为具有对所述检查对象下表面进行成像的成像镜头和设置在该成像镜头的成像面上的CCD。根据该结构，检查对象上表面侧的检查灵敏度相对较低，能够减少附着在检查对象上表面的灰尘等的影响。

此外，所述检测装置还可以构成为进一步具有调整所述成像镜头的光圈的装置，通过该光圈的调整来调整检查对象内部的缺陷检测灵敏度。

根据本发明的缺陷检测装置及方法，能够检测检查对象的缺陷并且检测该缺陷的高度方向的位置。此外，能够抑制附着在检查对象的表面上的灰尘等的影响。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的概略图。

图2是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。

图3是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。

图4是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。

图5是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。

图6是表示本发明的一个实施方式的动作的流程图。

符号说明

1照明装置；2工作台；3图像检测装置；4工作台位置检测装置；5控制器；10掩模；15入射光路；16反射光路；20移动装置；30成像镜头；31线性CCD；32图像输入装置；33图像处理装置；50显示器；80缺陷；97玻璃上表面；98玻璃下表面；99玻璃板。

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的实施方式。

在图1中，检查对象即玻璃板99放置在工作台2上，通过移动装置20在箭头所示的Y方向上以恒定速度v移动。

通过工作台位置检测装置4检测工作台2的位置d。

在玻璃板99的上方设置有照明装置1，经由掩模10使光倾斜地射入玻璃板99。

在与照明装置1相对的位置上，设置有图像检测装置3，检测由玻璃板99下表面反射的反射光。

照明装置1是在玻璃板99的宽度方向(与移动方向垂直的方向)即X方向上照射线状光的线状扩散照明，如图2所示设置有掩模10，相对于玻璃板99的移动方向以入射角θ照射线性扩散照明光。根据该结构，照明装置1的照明是以入射角θ倾斜射入玻璃板99，仅检测从玻璃板99反射的光。

此外，玻璃板99相对于照明装置1移动，但是只要玻璃板99和照明装置1相对移动即可，也可以是使照明装置1移动的结构或者使玻璃板99和照明装置1双方均移动的结构。