[发明专利]点光源线排列式检测装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种光学检测装置，特别是指一种具有点光源线排列的点光源线排列式检测装置。

背景技术

一般用于检测料片表面瑕疵的光学检测装置，是先将光线投射在料片上形成一照明区，并借助影像撷取模块撷取照明区的影像，再配合影像软件将照明区中的异物(particle)、气泡(bubble)、较深的刮痕等瑕疵位置检出。并且，借助使照明区在料片上相对移动，依序扫描整片料片，将所有缺陷位置完整检出。

上述的装置为了提供充足的光线，通常使用均匀光源来进行检测，但均匀光源下瑕疵对比反差较低，因此若瑕疵很细微时，不易检测出来，同时也无法有效检测如波纹、压痕、凹凸等表面形态(morphology)的瑕疵。

发明内容

本发明的目的，是在于提供一种检测表面细微瑕疵或表面形态瑕疵的检测装置。

于是，本发明点光源线排列式检测装置，适用于检测一待测物的一待测表面，该待测表面反射至少部分光线，该检测装置包含一影像撷取单元及一点光源单元。

该影像撷取单元，供撷取该待测表面的影像，并包括一镜头方向朝向该待测表面的取像镜头。

该点光源单元，包括多个相间隔且沿一第一直线方向排列的点光源，并提供多条照射光束使该待测表面形成多个相间隔的亮区及暗区。

较佳地，该取像镜头的镜头方向实质垂直该待侧表面，该第一直线平行该待测表面，而该取像镜头为平行该第一直线延伸的长形镜头。

在本发明的较佳实施例中，还包含一设置于该取像镜头与该待测表面间的偏光镜，该偏光镜包括一以45度面向该待测表面的反射面。该些点光源朝该偏光镜的反射面发射多条原始光束，该些原始光束经该偏光镜部分反射而形成多条朝向该待测表面实质垂直地照射的照射光束。

有关该些点光源，可以是LED点光源，或是激光点光源。

本发明借助多条线状排列的点光源所产生的照射光束，使该待测表面的瑕疵对比反差提高，用以更有效地检测表面瑕疵。

附图说明

图1是一示意图，说明本发明点光源线排列瑕疵检测装置包含一影像撷取单元、一偏光镜及一点光源单元。

图2是该点光源单元具有多个线排列点光源的示意图。

图3是图1中该待测物体表面的一凹痕与光线相对关系示意图。

图4是图3中该凹痕改以一均匀光源检测装置检测时该凹痕与光线相对关系示意图。

图5是本发明点光源线排列瑕疵检测装置的影像撷取单元于检测一待测物体表面时所撷取的具有多个相间隔亮区及暗区的影像。

图6是利用线状排列点光源与均匀光源的检测装置检测同一瑕疵产生的影像比较结果。

主要元件符号说明：

1·······待测表面

11·····细微凹痕

111····斜边

2·······点光源线排列式检测装置

21·····影像撷取单元

211···取像镜头

22·····偏光镜

221···反射面

23·····点光源单元

231···点光源

232···原始光束

233···照射光束

233’··照射光束

3影像

具体实施方式

有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。

参阅图1，本发明点光源线排列式检测装置的较佳实施例，应用于检测一待测物的一待测表面1的表面瑕疵，该待测表面1需至少可反射部分光线。

再配合参阅图2，点光源线排列式检测装置2包含一影像撷取单元21、一偏光镜22及一点光源单元23。其中，该影像撷取单元21可以是一面阵型电荷耦合式影像撷取装置(area CCD)或一感测阵列装置(CMOS)等，用以撷取该待测表面1的影像，并包括一镜头方向实质垂直该待测表面1的取像镜头211；该偏光镜22设置在该取像镜头211与该待测表面1间，并包括一反射面221，该反射面221与待测表面1相对呈45度角，在本实施例中，该偏光镜22可以使光线50％反射且50％穿透；该点光源单元23设置在该待测表面1上方，并包括多个的点光源231(例如LED点光源、激光点光源等)，该些点光源231沿一平行该待侧表面1的一第一直线L线状排列，较佳为等距离排列，该些点光源231与该反射面221夹45度角地朝该偏光镜22发射多条原始光束232，同时，本实施例为了有效撷取影像，该取像镜头211是平行该第一直线L延伸的长形镜头，且镜头宽度小于0.5公分。