[发明专利]高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器

权利要求书

1.一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。

2.如权利要求1所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在壳体中的真空室，设有真空密闭门、抽气口、进气口、放气阀口以及电极接口，真空室的形状为圆筒形或为方形，在该真空室的中间位置放置灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内。

3.如权利要求1和2所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：该真空室中间位置的灭菌框架是由带多空的金属薄板材料制成，该框架与真空室壳体相连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内。

4.如权利要求1所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在同一个壳体内还包括一个真空室腔体、射频电源、进气和抽气系统、自动控制系统。

5.如权利要求1和4所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：该壳体内的射频电源选用频率为13.56MHz或27.12MHz的电源，射频电源的匹配器采用自动匹配。

6.如权利要求1和4所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，其特征在于：该壳体内的进气系统是包括一个液体超声雾化装置、一个控制气体导管的电磁阀，气体导管与真空腔体进气口贯通；该壳体内的抽气系统包括机械真空泵和与真空腔体连接的抽气管道。

7.如权利要求1和4所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，其特征在于：该壳体内及壳体面板上设有PLC控制系统来控制进气电磁阀开关、放气电磁阀开关、机械泵抽气开关、打印机开关以及电源开关。