[发明专利]高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，尤其是在真空室中的灭菌台架与壳体共地，在灭菌台架与壳体之间设有射频电极，而在射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料的等离子体灭菌器。

【背景技术】

在医疗领域随着各种高新医疗仪器和器材的日益广泛应用，如何对这些器械进行低温灭菌和高效消毒成为医疗领域的新难题。传统高温湿灭菌已不能适应快速、高效、无腐蚀、无变性的新要求。液态灭菌剂，如戊二醛类，由于其刺激性、毒性及腐蚀性，已无法实现对精密医疗器械，如口腔类器材的灭菌，只能用于一般的消毒。而常用的环氧乙烷灭菌耗时长，对器要求高，具毒性大。用简单的气体过氧化氢及液态过氧乙酸灭菌，其操作复杂，待灭菌材料，如葡聚酸，塑料和橡胶等常用的医疗器械材料的化学变性，以及对医疗人员的刺激，损伤，也是其无法避免的缺陷。

射频真空低温等离子体技术已广泛的应用于：(1)薄膜材料的制备。(2)材料表面的改性。(3)表面溅射和表面刻蚀等。(4)材料表面的清洗以及材料表面的消毒和灭菌。

但是，通常的真空等离子体灭菌柜是把载物台作为悬浮电极，等离子体是产生在射频电极与真空室壁之间，实际扩散到载物台一侧的等离子体较少，因此等离子体的利用率较低。

【发明内容】

为了提高真空室内等离子体的实际利用率，本发明提供一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。

所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，其特征在于：在壳体中的真空室设有真空密闭门、抽气口、进气口、放气阀口以及电极接口，真空室的形状为圆筒形或为方形，在该真空室的中间位置放置灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架是由带空的金属薄板材料制成，该框架与壳体相连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内。

本发明是一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，其优点是：1，在射频电极与壳体之间填充有绝缘介质材料，避免了等离子体在两者之间产生；2，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间，灭菌框架是采用网孔结构使等离子体更容易扩散到灭菌框架内。

【附图说明】

图(1)为本发明真空灭菌腔体结构剖视视示意图；

图(2)为本发明的壳体侧视结构剖视图；

图(3)为本发明的正面结构示意图。

首先，请参阅图(1)、图(2)和图(3)，该高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体100、真空室104、射频电源106、进气114系统，抽气111系统，自动控制107系统，其特征在于：在真空室腔体104的中间位置设有灭菌框架105，该灭菌框架105是用网状金属材料制成，被灭菌的物品是放置在该框架105内，该框架105与壳体104连接并共地，在该灭菌框架105与真空腔体104之间设有射频电极103，在该射频电极103与真空腔体104之间是填充有绝缘介质材料102，该射频电极103与射频电源106的输出端连接，真空壳体104与地连接，等离子体放电是产生在射频电极103和灭菌框架105之间并扩散到灭菌框架105内对物品进行消毒灭菌。

如图(2)和图(3)所示，真空室腔体104是安装在壳体100的上部位置，真空室腔体104的底面安装有真空抽气接口120，射频电极连接口119，进气口115和出气口116。在真空室腔体104正面设有带玻璃观察窗121的开启门118，门把手为122；在真空室腔体104的一侧安装触摸屏107以及PLC控制系统，由PLC控制的打印机109。在壳体100中部安装一个射频电源106和一个射频电源的匹配器113，以及超声雾化罐114，其罐内的液面高度可以由一个透明玻璃管108显示；在壳体100下部安装一个机械泵111，机械泵电磁阀112。