[发明专利]探针针迹转印部件及探针装置

权利要求书

1.一种针迹转印部件，是在使可移动的载置台上的被检查体和多 个探针电接触而检查所述被检查体的电气性能之前，进行所述多个探 针的调准时，为了进行上述多个探针的调准而转印所述多个探针的针 迹的针迹转印部件，其被附设于所述载置台，其特征在于：

具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合物在玻璃化转变温度下， 弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的橡胶状态间可逆且快速地 变化。

2.如权利要求1所述的探针针迹转印部件，其特征在于：

所述玻璃化转变温度设为与所述载置台的设定温度接近的温度。

3.如权利要求1或2所述的探针针迹转印部件，其特征在于：

所述形状记忆聚合物主要成分是聚氨酯类树脂。

4.一种探针装置，是在使搭载于可移动的载置台上的被检查体和 配置于所述载置台上方的多个探针电接触而进行所述被检查体的电气 特性检查时，将所述多个探针的针迹转印在附设有所述载置台的支持 台的针迹转印部件上，利用摄像单元对所述针迹转印部件的针迹摄像 而进行所述多个探针的调准的探针装置，其特征在于：

所述针迹转印部件具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合物在玻 璃化转变温度下，弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的橡胶状 态间可逆且快速地变化。

5.如权利要求4所述的探针装置，其特征在于：

所述玻璃化转变温度设为与所述载置台的设定温度接近的温度。

6.如权利要求4或5所述的探针装置，其特征在于：

所述形状记忆聚合物的主要成分是聚氨酯类树脂。

7.如权利要求4所述的探针装置，其特征在于：

所述支持台具有调整所述聚合物温度的温度调整单元。