[发明专利]探针针迹转印部件及探针装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种探针针迹转印部件及探针装置，更具体地说，本 发明涉及在使多个探针与被检查体电接触而对被检查体进行电气性能 检查时，为了进行多个探针的调准而转印多个探针的针迹的探针的针 迹转印部件和具有该针迹转印部件的探针装置。

背景技术

当使用多个探针对半导体晶片等被检查体进行电学性能检查时， 例如在由照相机对探针片上多个探针的针头进行拍摄而测出探针的针 头位置之后，使被检查体的电极极板和多个探针接触进行检查。使用 照相机检测探针针头位置时，由于相机的焦点聚合于探针针头需要时 间，所以不得不腾出时间调准被检查体和探针片，因此，通常选择有 代表性的几根探针，而不是对所有探针进行调准。

但是，在电极极板极小的情况下，有可能所有的探针都不能和各 自的电极极板相吻合，所以，在这种情况下，尽可能希望检测出全部 探针针头的位置。但是，对于探针片在制造上存在偏差等，即使是同 一样式的探针片也难以避免制造上的偏差等，要求进行更高精度的针 头检测。

另外，由于多个制造商开发了多种探针片，所以此时有必要开发 一种专业的计算机程序算法以便以立体方式对多个探针进行图像认 知。由于这需要大量经费，所以如果能够在二维薄膜上复制多个探针， 计算机程序算法的开发就会变得很容易。

例如：专利文件1公开了一种使用转印片检测探针针头状态的方 法。采用这种方法，将热膨胀之后的探针压焊在转印片上，并在该转 印片上留下针迹，该转印片位于载置台横向的支持台上；检测出转印 片上的针迹之后，调准热膨胀后的探针。

【专利文件1】特开2005-079253

发明内容

但是，在专利文件1的技术中，在转印片上留下多个探针的针迹 以便调准多个探针，在进行下一次调准时，用加热单元加热转印片使 树脂熔融，由此消去针迹，但是，作为转印片使用聚烯烃类树脂或聚 氯乙烯类树脂等热塑性树脂，因此，需将转印片加热至例如100～120 ℃并保持该温度规定时间(例如1分钟左右)，才能使针迹消失，生产 率低下。另外，由于必须将转印片的温度调整到常温附近，因此，在 超过100℃的高温检查中存在针迹消失的可能而难以使用，即使使用， 转印片要比载置台的温度低很多，转印片和载置台的温度差大，存在 该温差对高温检查带来不良影响的问题。

为了解决上述课题，本发明的目的在于提供一种探针的针迹转印 部件和探针装置，其能够使其针迹在短时间内消失从而提高检查的生 产率，而且能够减轻在高温检查时由针迹转印部件对温度造成的影响。

本发明权利要求1的针迹转印部件，是在使可移动的载置台上的 被检查体和多个探针电接触而检查所述被检查体的电气性能之前，进 行所述多个探针的调准时，为了进行上述多个探针的调准而转印所述 多个探针的针迹的针迹转印部件，其被附设于所述载置台，其特征在 于：具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合物在玻璃化转变温度下， 弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的橡胶状态间可逆且快速地 变化。

另外，本发明权利要求2记载的探针的针迹转印部件，如权利要 求1的发明，其特征在于：所述玻璃化转变温度设为与所述载置台的 设定温度接近的温度。

另外，本发明权利要求3记载的探针的针迹转印部件，如权利要 求1或2的发明，其特征在于：所述形状记忆聚合物主要成分是聚氨 酯类树脂。

另外，本发明权利要求4记载的探针装置，是在使搭载于可移动 的载置台上的被检查体和配置于所述载置台上方的多个探针电接触而 进行所述被检查体的电气特性检查时，将所述多个探针的针迹转印在 附设有所述载置台的支持台的针迹转印部件上，利用摄像单元对所述 针迹转印部件的针迹摄像而进行所述多个探针的调准的探针装置，其 特征在于：所述针迹转印部件具有形状记忆聚合物，该形状记忆聚合 物在玻璃化转变温度下，弹性率在弹性率高的玻璃状态和弹性率低的 橡胶状态间可逆且快速地变化。

另外，本发明权利要求5记载的探针装置，如权利要求4所述的 探针装置，其特征在于：所述玻璃化转变温度设为与所述载置台的设 定温度接近的温度。

另外，本发明权利要求6记载的探针装置，如权利要求4或5的 发明，其特征在于：所述形状记忆聚合物的主要成分是聚氨酯类树脂。