[发明专利]一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备有效
| 申请号： | 200910018970.3 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN101660135A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 毕研文;宋小斌;王乃用;刘俊林;江衍勤;罗衍涛;张强;孟国强;李常兴;苏衍宪 | 申请（专利权）人： | 菏泽天宇科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人： | 张贵宾 |
| 地址： | 274032山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 真空 溅射 抽空 处理 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：包括真空泵(1)和通过抽气管(10)与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐(2)，预抽真空罐通过分抽空阀(4)连接抽气管、通过充气阀(3)设有进气管(11)，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计(5)；真空泵安装有主抽空阀(6)。
2.根据权利要求1所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：每个预抽真空罐(2)内的芯轴上都带有分散孔。
3.根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：真空泵(1)与预抽真空罐(2)之间连接有缓冲罐(7)。
4.根据权利要求1或2所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：进气管的进气端设有空气滤清器(8)。
5.根据权利要求3所述的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特征在于：缓冲罐(7)与预抽真空罐(2)之间安装有真空传感器(9)。
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