[发明专利]一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备

说明书

(一)技术领域

本发明涉及一种能够成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来的设备，具体涉及一种柔性带材真空溅射预抽真空处理设备。

(二)背景技术

一般的真空溅射设备由于没有经过预抽真空设备(或装置)进行预抽真空处理，对于柔性带材内的空气和挥发性气体都不能提前抽出来。在真空溅射主体设备进行一次性抽真空，时间长、能耗高，且溅射到基体上的靶材微粒附着力小，成品浸润性差，易造成后道工序出现质量问题。

(三)发明内容

本发明为了弥补现有技术的不足，提供了一种柔性带材真空溅射预抽空处理设备，克服原有在真空溅射主体设备进行一次性抽真空的不足之处，将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，提高真空溅射的抽真空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，实现提高真空溅射产品质量之目的。

本发明是通过如下技术方案实现的：

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，其特殊之处在于：包括真空泵和通过抽气管与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐，预抽真空罐通过分抽空阀连接抽气管、通过充气阀设有进气管，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计；真空泵安装有主抽空阀。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，每个预抽真空罐内的芯轴上都带有分散孔。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，真空泵与预抽真空罐之间连接有缓冲罐。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，进气管的进气端设有空气滤清器。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，缓冲罐与预抽真空罐之间安装有真空传感器。利用真空计实现自动控制真空度。

本发明的有益效果是，可以成功地将柔性带材内部的空气和挥发性气体抽出来，这样不仅可以提高真空溅射的抽空速度，降低设备能耗，提高靶材微粒附着力，改善成品浸润性，而且可以提高真空溅射的产品质量。

(四)附图说明

图1为本发明的结构示意图。图2为电路示意图。

图中，1真空泵，2预抽真空罐，3充气阀，4分抽空阀，5真空计，6主抽空阀，7缓冲罐，8空气滤清器，9真空传感器，10抽气管，11进气管。

(五)具体实施方式

附图为本发明的一种具体实施例。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，包括真空泵1和通过抽气管10与真空泵连接的若干组可以单独开闭抽真空的预抽真空罐2，预抽真空罐通过分抽空阀4连接抽气管、通过充气阀3设有进气管11，每个预抽真空罐内都装有用于安装柔性带材卷的芯轴，每个预抽真空罐上还安装有真空计5；真空泵安装有主抽空阀6。每个预抽真空罐内的芯轴上都带有分散孔。真空泵与预抽真空罐之间连接有缓冲罐。进气管的进气端设有空气滤清器8。缓冲罐7与预抽真空罐2之间安装有真空传感器9。利用真空计实现自动控制真空度。

本发明的柔性带材真空溅射预抽空处理设备，通过双位开关控制充气阀3、分抽空阀4。利用每个预抽真空罐2内装有带分散孔的芯轴提高抽真空速度和均匀性。各个预抽真空罐2可以单独开闭取放卷及预抽真空。该设备利用真空计5实现自动控制真空度，真空范围1×10^-1～500Pa连续可调。缓冲罐7有效避免某一预抽真空罐开闭时设备真空度波动过大。

预抽真空工作原理：滑阀真空泵工作，将预抽真空罐内的空气挥发性气体经芯轴分散孔、分抽空阀4、抽气管10、缓冲罐7、主抽空阀6到滑阀真空泵1，然后排到大气中。

该实施例的预抽工艺(以生产泡沫镍的基体——泡绵为例)如下所示：打开预抽罐→放置柔性带材卷→关闭预抽罐→设置真空度→抽空→充气→开罐取卷。

1.打开预抽空罐

观察罐体真空表是否处于真空状态，若罐内是真空状态，将双位开关从抽空位置拨到充气位置，这时抽空阀关闭，充气阀打开，空气进入罐内，真空解除即可开门。

2.放置柔性带材卷

将预抽真空关擦拭干净，然后把柔性带材卷(例如：泡绵)装在罐内心轴上。

3.关闭预抽空罐

关闭预抽空罐，紧固手轮，确保密封良好。

4.设置真空度

将最低真空度设置为500Pa，最高真空度设置为1×10^-1Pa，启动滑阀真空泵。

5.抽空

将双位开关从充气位置拨到抽空位置，充气阀关闭，这时抽空阀打开，预抽罐进入抽空状态。柔性带材卷的材质和长短不同，真空度和保持时间也不相同。以泡绵为例，其保持时间应为12～24小时。

6.充气