[发明专利]溅镀用晶圆夹表面处理工艺

权利要求书

1.一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于其包括如下步骤：

1)去除溅镀材料：首先将晶圆夹用药液进行浸泡，去除晶圆夹上的溅镀材料，然后将晶圆夹表面上的药液进行水洗，使晶圆夹表面上的药液去除，然后用气枪将晶圆夹表面吹干；

2)一次喷砂：使用砂材轰击晶圆夹表面，使晶圆夹表面粗糙，然后用气枪吹净晶圆夹表面上的砂材；

3)对晶圆夹进行熔射处理：用熔融态的铝材料溅射到晶圆夹的表面上，让铝材料在晶圆夹表面均匀沉积；

4)二次喷砂：使用研磨材料轰击已经熔射铝材料的晶圆夹表面，使晶圆夹表面干净、整洁，然后用气枪吹净晶圆夹表面的研磨材质

5)清洗：先用高压水进行清洗，然后用超声波清洗，再然后用超纯水润洗，最后用气枪将晶圆夹表面水分去除；

6)干燥：将晶圆夹进行无尘干燥。

2.如权利要求1所述的一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于：所述铝材料在晶圆夹表面的粗糙度Rz为110-150μm。

3.如权利要求1所述的一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于：步骤4)中超声波清洗的时间为3-5分钟。

4.如权利要求1所述的一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于：步骤4)中用超纯水润洗的时间为20-30分钟。

5.如权利要求1所述的一种溅镀用晶圆夹表面处理工艺，其特征在于：步骤5)中环境温度为150℃，干燥时间为2.5～3小时。