[发明专利]金属喷墨片的二元电沉积加工方法有效
申请号: | 200910033466.0 | 申请日: | 2009-06-22 |
公开(公告)号: | CN101590730A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | 周涛;李真明;黎增祺 | 申请(专利权)人: | 昆山美微电子科技有限公司 |
主分类号: | B41J2/16 | 分类号: | B41J2/16;G03F7/16;G03F7/20;C25D1/00 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人: | 董建林;孙永生 |
地址: | 215300江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 喷墨 二元 沉积 加工 方法 | ||
1.一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术,具体包括以下步骤:
(1)、设计金属喷墨片的图形文件;
(2)、采用304不锈钢基板,经表面研磨处理、外观检查符合要求后,将基板置于烘箱中烘烤30分钟,烘烤温度为70~80℃;
(3)、将光阻材料热压或印刷在基板上;
(4)、按照设计好的金属喷墨片的图形文件,制作2000DPI的负片光罩菲林,在平行光机上进行曝光;
(5)、将曝光后的基板在1%的显影液中进行清洗,使图形停留在基板上,并作图形尺寸及外观检查;
(6)、将基板放入镍金电铸槽中的电铸溶液中进行二元电铸沉积加工,所述
的二元电铸沉积加工是利用一定的电流沉积厚度,分别在光阻材料四周及上面
镍金共同沉积两次而成;
(7)、电铸沉积达到所需要的厚度后,将基板上的金属喷墨片取下,放入超声波清洗机中进行清洗;
(8)、抽样检查、包装。
2.根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的光阻材料为干膜或光刻胶。
3.根据权利要求2所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的干膜或光刻胶,经由300~400nm的光照射后能够发生固化反应。
4.根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于在所述的步骤(3)中,将光阻材料热压或印刷在基板上,是利用干膜机在温度110~130℃、压力在1.2kg~1.5kg、速度在0.8~1.0m/s的条件下,将25μm的干膜热压在304不锈钢基板上,保证外观达到要求;或采用印刷、旋涂的方法,将一定厚度的光刻胶在100~200目丝网印刷下,使光刻胶平均涂覆在304不锈钢基板上,厚度为20~50μm。
5.根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的步骤(4)中的在平行光机上进行曝光,曝光时UV光能量控制在3~5千瓦。
6.根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的电铸溶液为镍钴溶液或镍磷溶液。
7.根据权利要求6所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的镍钴溶液的主要成分和含量如下:
氨基磺酸镍溶液:350~550g/L;
氨基磺酸钴溶液:50~300g/L;
氯化镍溶液:10~30g/L;
硼酸:20~45g/L;
光亮剂:1~5ml/L;
添加剂:2~10ml/L。
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