[发明专利]基片和掩膜的夹持装置及使用该夹持装置的夹持方法

权利要求书

1.一种基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述掩膜为磁性掩膜，所述夹持装置包括：

夹持板，所述夹持板四周侧面均具有交替分布的凸部及凹部，所述凸部与所述凹部交替分布呈规则的连续方波状，位于所述夹持板的同一侧面的所述凸部与所述凹部均至少为两个；

磁力吸板，所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方，所述磁力吸板上具有均匀分布的永磁体；

与所述磁力吸板连接的磁力吸板驱动装置，所述磁力吸板驱动装置用于控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离；

夹子组，所述夹子组包括内夹子及与所述内夹子相同的外夹子，所述内夹子安装于所述夹持板的凹部处且突出于所述夹持板的下表面，所述内夹子用于夹持基片，所述外夹子安装于所述夹持板的凸部处且突出于所述夹持板的下表面，所述外夹子用于夹持掩膜；及

夹持驱动装置，所述夹持驱动装置包括内夹持驱动装置和与所述内夹持驱动装置相同的外夹持驱动装置，所述内夹持驱动装置控制内夹子的打开和关闭，所述外夹持驱动装置控制外夹子的打开和关闭。

2.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述永磁体突出均匀分布于所述磁力吸板的下表面，所述夹持板上具有容置突出的永磁体的凹槽。

3.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述夹持板的上表面具有突出的异形凸条，所述磁力吸板具有容置异形条的异形槽，且所述异形槽对称的分布在所述磁力吸板上。

4.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述夹持板的上表面具有向外延伸的对位销，所述磁力吸板具有容置所述对位销的对位孔。

5.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述内夹子包括左底座、右底座、两扭转弹簧、夹持块、夹子顶柱及转动轴，所述左底座与所述右底座位于所述夹持块两侧，所述转动轴穿过所述夹持块且所述夹持块的两端分别与所述左底座及右底座枢接，所述扭转弹簧呈圆柱形，所述两扭转弹簧均穿于所述转动轴之上且分别抵触于左底座与夹持块和右底座与夹持块之间，所述夹子顶柱一端与所述内夹持驱动装置连接，另一端悬置于所述夹持块的顶部正上方，所述夹持块的底部向内弯折形成夹持部，所述左底座与所述右底座连接于所述夹持板的凹部。

6.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述磁力吸板的下表面的四角具有向外延伸的磁力吸板顶柱，所述夹持板具有供所述磁力吸板顶柱穿过的定位孔，所述磁力吸板顶柱穿过所述定位孔与所述磁力吸板驱动装置连接，所述磁力吸板驱动装置通过驱动所述磁力吸板顶柱控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离。

7.一种使用如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置的夹持方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方且与所述夹持板脱离，控制所述内夹持驱动装置打开内夹子，所述内夹子形成一个内夹持区；

(2)将所述基片升至所述内夹子打开所形成的内夹持区内，控制所述内夹持驱动装置闭合所述内夹子；

(3)控制所述外夹持驱动装置打开所述外夹子，所述外夹子形成一个外夹持区；

(4)将所述掩膜升至所述外夹子打开所形成的外加持区内，控制所述外夹持驱动装置将所述外夹子闭合；及

(5)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板对位贴合，并通过磁力吸板的磁力吸引所述掩膜和所述基片贴合。

8.如权利要求7所述的夹持基片和掩膜的夹持方法，其特征在于：所述步骤

(5)之后还包括以下步骤：

(6)将所述步骤(5)中通过磁力吸引贴合的掩膜和基片放置在指定位置；

(7)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板脱离；

(8)控制所述内夹持装置打开所述内夹子；

(9)控制所述外夹持装置打开所述外夹子。