[发明专利]隔振支撑装置

权利要求书

1.一种隔振支撑装置，其特征在于：包括底架、隔振平台、机座、主动电控气动系统及隔振器，所述底架具有水平安装面，所述隔振平台具有水平支撑面，所述机座的一端与所述底架的水平安装面连接，所述隔振器的一端可伸缩地与所述机座的另一端连接，所述隔振器的另一端呈水平状且与所述隔振平台的水平支撑面相抵触，所述主动电控气动系统与所述隔振器连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器相对于所述机座的伸缩，所述隔振平台由多个大理石板连接而成。

2.如权利要求1所述的隔振支撑装置，其特征在于：还包括支撑法兰，所述支撑法兰的一端与所述底架的水平安装面连接，所述支撑法兰的另一端呈水平状。

3.如权利要求1所述的隔振支撑装置，其特征在于：所述隔振器包括薄膜空气弹簧及水平空气弹簧。

4.如权利要求1所述的隔振支撑装置，其特征在于：所述主动电控气动系统提供六个自由度的控制，每个自由度由可编程逻辑控制器、现场控制总线、一控制器及一高速气动伺服阀进行控制。

5.如权利要求1所述的隔振支撑装置，其特征在于：所述底架包括方钢和钢板，所述方钢焊接于所述钢板下表面上，所述钢板上表面为水平安装面。