[发明专利]隔振支撑装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种支撑装置，尤其涉及一种具有隔振功能的支撑装置。

背景技术

在现代半导体行业的自动化和半自动化生产、平板印刷设备、光学领域以及电子设备行业等工业成产以及实验过程中，都需要高稳定度的防振技术，振动带来的危害无疑是致命的。然而，一方面，我们脚下站立的这块地板却在无时无刻的经受外界的各种干扰，如地振、附近来往的车辆、沉重的正在运转的机械、行走中的工作人员以及其他能产生振动的动作都会给地板带来或大或小的振动，对防振动要求不高的物质来说是没有任何的影响，但是对防振动要求较高的物质来说确是有破坏性的，比如半导体工业中的光刻工艺、光栅制作以及高分辨率电子显微镜来说，这种干扰就已经足够具有致命的破坏性；另一方面，由于设备自身的内部运转部件在加速和减速时会产生高动态力，从而造成机构性的振动现象，这个振动现象的强弱与加速和减速时候的迅速程度有关，因此，由于振动现象的存在，促使了设备在进行敏感运行前的的延迟现象。

为了尽量减小甚至避免这种振动对工业生产带来的破坏和对设备本身带来的危害，多年来一直在试验各种各样的防振措施，在对防振要求较高的领域中，一种较为常见的方法是一种由海绵橡皮、橡胶橡皮、纤维板以及纸张为主要材料制作而成的防振装置，用于校正器、压光机、压榨、刮刀、网部等多个部位进行行程调节和张力控制，橡胶空气弹簧成为举升设备中常见的举升元件，然而，这种装置的缺点是，不能调整被支撑物的水平固有频率和水平阻尼，且还会被支撑物出现延迟现象。

发明内容

本发明的目的是提供一种能调整被支撑物的水平固有频率和水平阻尼且使被支撑物没有延迟的隔振支撑装置。

为实现上述目的，本发明提供了一种隔振支撑装置，所述隔振支撑装置包括底架、隔振平台、机座、主动电控气动系统及隔振器，所述底架具有水平安装面，所述隔振平台具有水平支撑面，所述机座的一端与所述底架的水平安装面连接，所述隔振器的一端可伸缩地与所述机座的另一端连接，所述隔振器的另一端呈水平状且与所述隔振平台的水平支撑面相抵触，所述主动电控气动系统与所述隔振器连接，所述主动电控气动系统控制所述隔振器相对于所述机座的伸缩，所述隔振平台由多个大理石板连接而成。

较佳地，所述隔振支撑装置还包括支撑法兰，所述支撑法兰的一端与所述底架的水平安装面连接，所述支撑法兰的另一端呈水平状。设置所述支撑法兰的目的在于移动或者运输所述隔振支撑装置的时，利用支撑法兰呈水平状的一端来承载隔振平台的水平支撑面，从而达到支撑所述隔振平台的目的；另，由于所述支撑法兰的另一端成水平状，因此能与所述隔振平台的水平支撑面很好地抵触，此外，本发明隔振支撑装置不工作的时候，由所述支撑法兰来支撑所述隔振平台，减短了隔振器的工作时间，因此延长了隔振器的使用寿命。

较佳地，所述隔振器包括薄膜空气弹簧及水平空气弹簧。薄膜空气弹簧阻尼效果高，能够始终保持所述隔振平台以及放置在本发明隔振支撑装置上的被支撑物的水平，且具有自动进行水平调整的功能；水平空气弹簧可调整水平固有平率以及水平阻尼，没有粘滑和滞后现象。

较佳地，所述主动电控气动系统提供六个自由度的控制，每个自由度由可编程逻辑控制器、现场控制总线、一控制器以及一高速气动伺服阀进行控制。六个自由度的控制足以确定与所述主动电控气动系统相连的所述隔振器的空间位置，因此控制精度高，而设置所述控制总线、所述控制器以及所述高速气动伺服阀则能够及时地对隔振器因外界振动而引起的位置变化作出应对措施，灵敏度高。

较佳地，所述底架包括方钢和钢板，所述方钢焊接于所述钢板下表面上，所述钢板上表面为水平安装面。所述方钢的质量大稳定性好，且机械承受能力强，所述钢板设置成水平安装面能够平稳地安装所述机座以及所述支撑法兰，为本发明隔振支撑装置提供了一个很好的安装平台。