[发明专利]一种共用基底集成电路测试方法、装置和系统

权利要求书

1.一种共用基底上集成电路测试方法，包括：

(a)共用基底上的复数个功能相同的被测单元(device under test，DUT)在同一输入激励(input stimulation)下同时/并行运行，分别同时/并行产生运行结果；

(b)如果有预期结果存在，

(i)对上述复数个运行结果分别与预期结果同时/并行进行是否相等/匹配的比较；

(ii)得出测试特征，即把比较结果相等/匹配的那些被测单元标记为有效单元，将比较结果不相等/不匹配的那些被测单元标记为疑似失效单元；若有需要，可以对疑似失效单元单独进行常规测试，以确定是否真正失效；

(c)如果没有预期结果存在，

(i)对上述复数个运行结果相互同时/并行进行是否相等/匹配的比较；

(ii)得出测试特征，即把比较结果相等/匹配的那些被测单元标记为有效单元，将比较结果不相等/不匹配的那些被测单元标记为疑似失效单元；若有需要，可以对疑似失效单元单独进行常规测试，以确定是否真正失效；

(d)根据测试特征分离有效单元和失效单元。

2.根据权利要求1所述共用基底可以是单个集成电路，当所述共用基底为单个集成电路时，被测单元即为该集成电路上的功能模块；所述的共用基底也可以是晶圆，当所述共用基底为晶圆时，被测单元即为晶圆上晶粒；所述的共用基底还可以是电路板，当所述共用基底为电路板时，被测单元即为电路板上的芯片。

3.一种共用基底上集成电路测试装置，包括：

(a)所述共用基底上的复数个功能相同的被测单元；

(b)所述共用基底上的复数个运行结果比较装置；

(c)所述共用基底上的互联网络；

(d)所述共用基底上的测试特征导出装置。

4.根据权利要求3所述共用基底可以是单个集成电路，当所述共用基底为单个集成电路时，被测单元即为该集成电路上的功能模块；所述的共用基底也可以是晶圆，当所述共用基底为晶圆时，被测单元即为晶圆上晶粒；所述的共用基底还可以是电路板，当所述共用基底为电路板时，被测单元即为电路板上的芯片。

5.根据权利要求3所述运行结果比较装置，用于对各被测单元执行同一激励后的运行结果的取样、转换及比较这些运行结果是否相等/匹配；所述运行结果可以是被测单元对外输出端口上的信号值，也可以是被测单元内部的信号值；所述运行结果取样点可以是被测单元对外输出端口，也可以是被测单元内部的取样点；所述取样的样本可以是任意形式的信号，包括但不限于数字信号、模拟信号；所述转换包括但不限于模拟信号向数字信号的转换或数字信号向模拟信号的转换；所述比较可以是各被测单元运行结果分别与传入的预期结果之间的同时/并行比较，也可以是各被测单元运行结果之间的同时/并行比较；所述运行结果比较装置可以是只包括取样及比较功能的装置，也可以是包含取样、转换与比较功能的装置；在所述运行结果比较装置中，可以先对运行结果取样，再对取样得到的样本进行比较；也可以先对运行结果进行连续比较，在对连续比较结果进行取样，作为实际比较结果；所述运行结果比较装置还可以包含失效判定功能；所述的运行结果比较装置与被测单元在共用基底上，其在共用基底上的具体位置包括但不限于在被测单元内、部分在被测单元内部分在基底上被测单元外和全部在基底上被测单元外。