[发明专利]超大规格石英板的生产工艺无效
申请号: | 200910051203.2 | 申请日: | 2009-05-14 |
公开(公告)号: | CN101549948A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
发明(设计)人: | 梁伟兴 | 申请(专利权)人: | 上海石创光学玻璃有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 上海明成云知识产权代理有限公司 | 代理人: | 常 明 |
地址: | 201907*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超大 规格 石英 生产工艺 | ||
1、一种超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,它包括如下步骤:
(1)将石英锭热熔成石英平面板;
(2)将石英平面板在线切割机床上分割成数块石英板;
(3)对石英板进行清洗酸处理;
(4)将至少两块石英板沿拼缝拼接;
(5)将拼合后的石英板精密退火;
(6)对石英板进行精磨加工;
(7)采用抛光机、抛光剂以及抛光液对石英板进行抛光;
(8)最后对石英板进行清洗。
2、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(6)之后、步骤(7)之前包括步骤:加工石英板的外形及尺寸。
3、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(1)中石英锭经二步法热熔成型所需要的规则形状。
4、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(4)中石英板拼接时使用氢气、氧气燃烧对拼缝进行加热。
5、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(5)中将石英板放入精密退火炉退火消应力。
6、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(6)中对石英板进行精磨机加工的线速度为0.2~0.4m/sec,压力为20~40g/cm2。
7、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(7)中所用抛光剂中的氧化铈含量与水的比例小于等于1∶6。
8、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(7)中采用抛光机对石英板抛光的机加工线速度为0.1~0.3m/sec,压力为15~30g/cm2。
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