[发明专利]超大规格石英板的生产工艺无效

专利信息
申请号: 200910051203.2 申请日: 2009-05-14
公开(公告)号: CN101549948A 公开(公告)日: 2009-10-07
发明(设计)人: 梁伟兴 申请(专利权)人: 上海石创光学玻璃有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00
代理公司: 上海明成云知识产权代理有限公司 代理人: 常 明
地址: 201907*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 超大 规格 石英 生产工艺
【权利要求书】:

1、一种超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,它包括如下步骤:

(1)将石英锭热熔成石英平面板;

(2)将石英平面板在线切割机床上分割成数块石英板;

(3)对石英板进行清洗酸处理;

(4)将至少两块石英板沿拼缝拼接;

(5)将拼合后的石英板精密退火;

(6)对石英板进行精磨加工;

(7)采用抛光机、抛光剂以及抛光液对石英板进行抛光;

(8)最后对石英板进行清洗。

2、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(6)之后、步骤(7)之前包括步骤:加工石英板的外形及尺寸。

3、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(1)中石英锭经二步法热熔成型所需要的规则形状。

4、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(4)中石英板拼接时使用氢气、氧气燃烧对拼缝进行加热。

5、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(5)中将石英板放入精密退火炉退火消应力。

6、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(6)中对石英板进行精磨机加工的线速度为0.2~0.4m/sec,压力为20~40g/cm2

7、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(7)中所用抛光剂中的氧化铈含量与水的比例小于等于1∶6。

8、根据权利要求1所述的超大规格石英板的生产工艺,其特征在于,所述步骤(7)中采用抛光机对石英板抛光的机加工线速度为0.1~0.3m/sec,压力为15~30g/cm2

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