[发明专利]超大规格石英板的生产工艺

说明书

技术领域

本发明涉及石英板生产工艺，特别涉及一种超大规格石英板的拼接、生产工艺以及精磨抛光方法。

背景技术

随着整机电子产品逐步走出金融危机阴影，面板市场状况会趋于好转，第6代以上的TV用面板占有率也会逐步扩大，目前国内第6代TFT-LCD生产线、台湾第7.5代TFT-LCD生产线、韩国第8代TFT-LCD生产线都已投入生产，日本正在建设的第10代TFT-LCD生产线也将在今年竣工。这些生产线都需要超大规格石英板用作配套组件。

目前国内由于没有大规格的石英基材和缺乏后续加工能力，市场都由西方发达国家占领。如果在生产过程中采用他国的大规格石英基材，则势必增加产品的成本，降低产品的价格竞争力。

发明内容

本发明的目的是提供一种超大规格石英板的生产工艺，通过石英板的拼接工艺，解决了石英基材规格的局限性，并配合相应的精磨抛光方法，得到超大规格石英板成品，替代了进口的大规格石英基材。

本发明的技术解决方案如下：

一种超大规格石英板的生产工艺，它包括如下步骤：

(1)将石英锭热熔成石英平面板；

(2)将石英平面板在线切割机床上分割成数块石英板；

(3)对石英板进行清洗酸处理；

(4)将至少两块石英板沿拼缝拼接；

(5)将拼合后的石英板精密退火；

(6)对石英板进行精磨加工；

(7)采用抛光机、抛光剂以及抛光液对石英板进行抛光；

(8)最后对石英板进行清洗。

本发明采取如下进一步的技术措施：

所述步骤(6)之后、步骤(7)之前包括步骤：加工石英板的外形及尺寸。

所述步骤(1)中石英锭经二步法热熔成型所需要的规则形状。

所述步骤(4)中石英板拼接时使用氢气、氧气燃烧对拼缝进行加热。

所述步骤(5)中将石英板放入精密退火炉退火消应力。

所述步骤(6)中对石英板进行精磨机加工的线速度为0.2～0.4m/sec，压力为20～40g/cm²。

所述步骤(7)中所用抛光剂中的氧化铈含量与水的比例小于等于1∶6。

所述步骤(7)中采用抛光机对石英板抛光的机加工线速度为0.1～0.3m/sec，压力为15～30g/cm²。

本发明由于采用了以上技术方案，使之与现有技术相比，具有以下优点和积极的效果：

本发明通过拼接的方法生产超大规格石英基材，拼接机和退火消应力装备满足目前正在生产和建设的玻璃基板生产线上配套组件的需求，采用精磨机、抛光机进行表而加工，完全能够确保产品质量，而且具有价格竞争力。本发明的工艺方法还具有生产灵活快速，生产周期短，在可加工范围内根据市场要求可生产任意规格的产品等特点。

附图说明

附图是本发明的一种超大规格石英板的生产工艺流程图。

具体实施方式

下面结合附图来具体介绍本发明的一个较佳实施例。

参看附图，按本发明的一种超大规格石英板的生产工艺，将石英锭经二步法热熔成型所需要的规则形状，在线切割机床上进行分割，清洗酸处理后在拼接车床拼接，拼接时使用氢气，氧气燃烧对拼缝进行加热，达到要求后对接，然后放入精密退火炉退火消应力，如规格不够大时重复以上拼接过程直到符合要求为止，然后通过精磨、抛光工艺制成透明的超大规格石英板。

本发明的工艺中使用的超大规格石英板专用精磨、抛光机由两台独立装备组成，其运动方式分为两部分，主轴的旋转运动和粘结平台的往返运动。两种运动分别由各自的电动机带动，其中主轴旋转采用皮带轮带动，粘结平台采用钢丝绳牵引带动。

超大规格石英板专用精磨机(以下简称精磨机)的精磨盘材料采用铸铁，其直径大于粘结平台宽度，为了排屑和储存磨料需铣出网格槽，网格槽结构要保证精磨盘能长时间保持高光圈，机加工线速度可以根据加工件进行调整，以保证各种形状的石英板各点磨削量一致。施加的压力视石英板厚度和磨料颗粒度进行调整，以保证石英大板不破损，并防止由于表面压力过大加强了粉碎磨料颗粒的力量而产生划痕和深的点状伤痕，因此一般选择下限即可。本实施例采用以下加工参数：

精磨机：线速度0.2～0.4m/sec，压力20～40g/cm²；

抛光机：线速度0.1～0.3m/sec，压力15～30g/cm²。