[发明专利]一种用于涂胶及洗边检测的测试晶圆有效
| 申请号： | 200910051554.3 | 申请日： | 2009-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101894827A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 蒋国伟;张伟;潘贤俊;陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/00;H01L21/66;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 涂胶 边检 测试 | ||
1.一种用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，包括：
晶圆本体；
第一标记，设置于所述晶圆本体表面的边缘，用于检测洗边工艺的洗边宽度；
第二标记，设置于所述晶圆本体表面的中心，用于检测涂胶工艺中滴胶的位置。
2.如权利要求1所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述洗边工艺具有一标准洗边宽度，所述第一标记的宽度与所述标准洗边宽度相匹配。
3.如权利要求2所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述第一标记包括多个测试标记，所述多个测试标记均匀分布在所述晶圆本体表面的边缘。
4.如权利要求3所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述测试标记为圆形。
5.如权利要求4所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述测试标记的直径等于所述标准洗边宽度。
6.如权利要求3所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述测试标记为正方形。
7.如权利要求1所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述第二标记为“十”字形，其包括多个均匀分布的检测标记。
8.如权利要求7所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述检测标记为圆形。
9.如权利要求7所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述检测标记为正方形。
10.如权利要求1所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述第一标记通过刻蚀所述晶圆本体形成。
11.如权利要求1所述的用于涂胶及洗边检测的测试晶圆，其特征在于，所述第二标记通过刻蚀所述晶圆本体形成。
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