[发明专利]一种用于热电材料的涂层及其含有该涂层的器件

权利要求书

1.一种涂层，其用于热电材料，其特征在于，包括：

含有热电材料的热电层；

一层或多层金属涂层，其中所述金属涂层形成与所述热电层接触的表面以及另一相向表面；

一层或多层金属氧化物涂层，所述金属氧化物涂层含有金属氧化物，其中所述金属氧化物涂层形成与所述相向表面接触的表面。

2.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述热电材料选自填充和/或掺杂方钴矿。

3.如权利要求2所述的涂层，其特征在于，所述填充和/或掺杂方钴矿选自CoSb₃基方钴矿。

4.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述金属涂层含有Ta、Nb、Ti、Mo、V、Al、Zr、Ni、NiAl、TiAl、NiCr或其组合。

5.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述金属氧化物涂层含有TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、Al₂O₃、ZrO₂、NiO、SiO₂或其组合。

6.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，其厚度为10-500μm(微米)。

7.如权利要求6所述的涂层，其特征在于，其厚度为50-200μm(微米)。

8.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述金属涂层的厚度为0.01-20um(微米)。

9.如权利要求8所述的涂层，其特征在于，所述金属涂层的厚度为0.2-2um(微米)。

10.如权利要求1所述的涂层，其特征在于，所述热电层具有厚度为L_T，所述金属涂层和金属氧化物涂层各自具有厚度为L_M&MOx，其中L_M&MOx≤L_T，且(L_T-L_M&MOx)/L_T≤0.4。

11.一种含有如权利要求1所述的涂层的器件。

12.一种如权利要求1所述的涂层的制备方法，其特征在于：

提供含有热电材料的热电层；

在所述热电层上形成一层或多层金属涂层，其中所述金属涂层形成与所述热电层接触的表面以及另一相向表面；

在所述金属涂层上形成一层或多层金属氧化物涂层，所述金属氧化物涂层含有金属氧化物，其中所述金属氧化物形成与所述金属涂层的相向表面接触的表面。

13.一种如权利要求12所述的涂层的制备方法，其特征在于：

所述全部或部分金属涂层由以下方法形成：热蒸发法、电弧喷涂法、等离子喷涂法、火焰喷镀法、真空溅射法、电化学蒸汽沉积法、电镀法、或沉积法(electroless deposition)。

14.一种如权利要求12所述的涂层的制备方法，其特征在于：

所述全部或部分金属氧化物涂层由以下方法形成：

热蒸发沉积法、真空溅射法、等离子喷涂法、溶胶法(sol-gel)、化学溶液沉积法(chemical solution deposition)、或化学蒸汽沉积法(chemicalvapor deposition)。

15.一种如权利要求12所述的涂层的制备方法，其特征在于：

通过对所述金属涂层的至少部分氧化，使得所述金属氧化物涂层与所述金属涂层的相向表面接触。