[发明专利]一种制备三氟化硼气体的方法

权利要求书

1.一种制备三氟化硼气体的方法，其特征在于：包括以下步骤

(i)去除氟气中杂质气体

将氟气储罐(1)中的氟气通入提纯器(3)内进行冷冻，使含有杂质气体的氟气液化，根据沸点不同，用真空机组(7)将提纯器(3)内不能冷凝的高沸点杂质气体抽空，然后升温使液体氟气化，得到高纯度的氟气，高纯度的氟气通入缓冲罐(4)；

(ii)氟气和硼酐进行合成反应

首先将反应器(5)内的硼酐(B₂O₃)预热，然后向反应器(5)内通入去除杂质气体的氟气与硼酐进行接触合成反应，生成含有杂质气体的三氟化硼气体粗产品，反应温度为100～160℃，反应器(5)内的压力为-0.01～0.03MPa；

(iii)去除三氟化硼气体粗产品中的杂质气体

将在反应器(5)中生成的含有杂质气体的三氟化硼气体粗产品通入冷冻捕集器(6)内进行冷冻，使含有杂质气体的三氟化硼气体液化，根据沸点不同，用真空机组(7)将冷冻捕集器(6)内不能冷凝的高沸点杂质气体抽空，然后升温使液体三氟化硼气化，得到高纯度的三氟化硼气体产品。

2.根据权利要求1所述的制备三氟化硼气体的方法，其特征在于：含有杂质气体的氟气液化和含有杂质气体的三氟化硼气体粗产品的液化温度为-140～-195℃之间。

3.根据权利要求1所述的制备三氟化硼气体的方法，其特征在于：缓冲罐(4)通过管道分别与提纯器(3)和反应器(5)连通，缓冲罐(4)的压力控制在-0.04～-0.01MPa之间。

4.根据权利要求1所述的制备三氟化硼气体的方法，其特征在于：反应器(5)采用立式，在反应器(5)的下部设置有带孔的筛板(8)，将硼酐粉碎后均匀地铺在筛板(8)上，氟气从筛板(8)的下部通入。