[发明专利]制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法

权利要求书

1.制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其特征在于制备织构可控的铌 镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法步骤如下：a、依照化学式(1-x)Pb(Mg_1/3Nb_2/3)-xPbTiO₃按1∶ 1/3(1-x)∶2/3(1-x)∶x的摩尔比分别称取醋酸铅、乙酸镁、乙醇铌和钛酸四丁酯，其中x＝0.32； b、把醋酸铅加入到冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液中，室温下搅拌10～30min，得溶液A， 其中，冰乙酸和乙二醇甲醚的摩尔比为1∶5～15，醋酸铅与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶 液的摩尔比为1∶6～16；c、把乙酸镁和乙醇铌的混合物加入冰乙酸和乙二醇甲醚混合溶液 中，在60～100℃条件下加热回流搅拌20～60min，得溶液B，再将钛酸四丁酯加入到溶液 B中，在80～120℃条件下加热回流搅拌20～60min，得溶液C，其中，冰乙酸和乙二醇甲 醚的摩尔比为1∶5～15，乙酸镁和乙醇铌的混合物与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液的摩 尔比为1∶6～16；d、将溶液A和溶液C混合得混合溶液D，然后向混合溶液D中加入乙 酰丙酮，乙酰丙酮与混合溶液D的摩尔比为1∶10～20，室温下搅拌20～40min，得 (1-x)Pb(Mg_1/3Nb_2/3)-xPbTiO₃溶胶；e、将Pt/Ti/SiO₂/Si基片依次在丙酮和无水乙醇中各超声 处理4～6min，然后置于空气中自然干燥；f、把步骤d得到的(1-x)Pb(Mg_1/3Nb_2/3)-xPbTiO₃溶胶滴加到经步骤e处理过的基片上，以1000～2000r/min旋涂10s，再以3500～4500r/min 旋涂20s，然后在40～80℃条件下烘干得薄膜D；g、将薄膜D在350～450℃条件下预烧， 得薄膜E；h、将薄膜E放入快速热处理炉中在630～670℃条件下焙烧8～15min，冷却至 室温，即获得织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其特征 在于步骤f中基片以1200～1800r/min旋涂10s，再以3800～4200r/min旋涂20s。

3.根据权利要求1或2所述的制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其 特征在于步骤f中在50～70℃条件下烘干。

4.根据权利要求3所述的制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其特征 在于重复操作步骤f1～8次。

5.根据权利要求1或2所述的制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其 特征在于步骤h中将薄膜E放入快速热处理炉中在640～660℃下焙烧。

6.根据权利要求1或2所述的制备织构可控的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜的方法，其特 征在于步骤h中将薄膜E在快速热处理炉中焙烧12min。