[发明专利]一种保持盘状物的装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及机械领域，具体涉及一种保持盘状物的装置及方法。 

背景技术

当盘状物这个词在本文中使用的时候，其代表多种类型的平板状基材，例如半导体晶片、光盘或是平板显示器等。晶片卡盘在领域内应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。在申请号为US4903717的美国专利申请中公开了利用伯努利原理将晶片固定的卡盘。晶片利用伯努利原理而被保持在载体上，与载体一起旋转。通过分布在晶片圆周的夹持元件来实现径向定位。这种卡盘决定了机械手只能从晶片的上方抓取晶片，从而限制了机械手末端执行器的形式，并且容易在晶片上表面产生污染。 

不只是晶片存在上述问题，一些其它的盘状物如光盘等盘状物在制备的过程中所用的载体也存在上述的只能从上面抓取该盘状物，从而使盘状物上表面容易产生污染的问题。 

发明内容

本发明的目的是提供一种保持盘状物的装置及方法，利用本发明在盘状物固定后可以从盘状物下表面抓取盘状物，并有效地保持盘状物上表面的洁净而不被污染。 

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案： 

一种保持盘状物的装置，其特征在于， 

所述载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，所述凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面上除所述凸出部件之外的部分之间产生空间，所述空间用于机械手从盘状物下表面抓取所述盘状物； 

所述载体边缘分布有若干个夹持元件，用于径向固定盘状物。 

优选地，所述载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向所述盘状物的下表面上的外部边缘，气压使盘状物上表面的工艺液体不会沿盘状物的边缘流向盘状物下表面。 

优选地，所述盘状物为晶片，所述凸出部件为用于吸附晶片的凸出吸盘，所述载体为旋转式载体，所述凸出吸盘使晶片下表面与载体上表面上除所述凸出部件之外的部分之间产生的空间供机械手上下运动从晶体下表面抓取所述晶片。 

优选地，所述气体源为惰性气体源，所述吹气口为气孔或环状槽。 

优选地，所述凸出吸盘为真空吸盘，所述夹持元件为刚性元件、或通过旋转或倾斜来固定所述盘状物的元件。 

优选地，所述载体上表面周边设有的吹气口至少为一周，所述吹气口均匀分布。 

优选地，所述夹持元件个数至少为3个，所述夹持元件沿载体边缘均匀分布。 

本发明还提供了一种保持盘状物的方法，该方法中： 

通过设置在载体上的凸出部件轴向固定盘状物； 

通过分布在载体边缘的夹持元件径向固定盘状物； 

通过凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面上除所述凸出部件之外的部分之间产生空间，所述空间用于从盘状物下表面抓取所述盘状物。 

优选地，该方法通过设置在载体上表面周边的吹气口向所述盘状物的的下表面的上外部边缘不间断吹气，气压使盘状物表面的工艺液体不会沿盘状物的边缘流向盘状物下表面。 

利用本发明提供的保持盘状物的装置及方法，通过机械结构设计，在盘状物固定后可以从盘状物下表面抓取盘状物，并有效地保持盘状物上表面的洁净而不被污染。 

附图说明

图1为本发明实施例中保持盘状物的装置结构图； 

图2为本发明实施例中保持盘状物的装置中载体的俯视图； 

图中：1、保持盘状物的装置；2、载体；3、夹持元件；4、凸出吸盘；5、吹气口；6、机械手；W、晶片；W1、晶片的上表面；W2、晶片的下表面；Ws、载体的上表面；S、距离。 

具体实施方式

本发明提出的保持盘状物的装置及方法，结合附图和实施例说明如下。 

实施例1