[发明专利]一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置有效

专利信息
申请号: 200910082770.4 申请日: 2009-04-29
公开(公告)号: CN101539773A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 梁小祎 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 代理人: 苏培华
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 工艺 过程 参数 可视化 处理 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种工艺过程参数的可视化处理方法,其特征在于,包括:

针对已建立通信连接的多个工艺模块,建立相应的工艺过程参数接 收线程及工艺过程参数绘制线程;所述工艺过程参数接收线程建立时的 初始状态为开启,所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开 启;所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运 行状态,若是,则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存 区;

接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求;

依据所述请求,激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程, 对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时,将 这个工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起;

当与某个工艺模块断开通信连接时,将相应的工艺过程参数接收线 程关闭。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,当所述工艺过程参数接 收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时,所述激活步骤包括:

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时,将该 线程开启。

4.如权利要求2所述的方法,其特征在于,当所述工艺过程参数接 收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时,所述激活步骤包括:

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的 挂起子状态时,将该线程唤醒。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,当所述工艺过程参数接 收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时,所述方法还包括:

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程开启时,将该线 程挂起。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述工艺模块具有对应 的显示界面,在激活绘制线程的步骤之前,还包括:

切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,还包括:

若未切换至所述显示界面,则在所述工艺模块对应的工艺过程参数 绘制线程为开启时,将该线程挂起。

8.一种工艺过程参数的可视化处理装置,其特征在于,包括:

通信建立模块,用于与多个工艺模块建立通信连接;

线程建立模块,用于针对所述多个工艺模块建立相应的工艺过程参 数接收线程及工艺过程参数绘制线程;所述工艺过程参数接收线程建立 时的初始状态为开启,所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为 未开启;所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工 艺运行状态,若是,则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到 缓存区;

请求处理模块,用于接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参 数显示请求;

绘制线程激活模块,用于依据所述请求,激活这个工艺模块所针对 的工艺过程参数绘制线程,对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。

9.如权利要求8所述的装置,其特征在于,还包括:

线程中止模块,用于在用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数 显示请求结束时,将所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起;

线程关闭模块,用于在与某个工艺模块断开通信连接时,将相应的 工艺过程参数接收线程关闭。

10.如权利要求8所述的装置,其特征在于,当所述工艺过程参数 接收线程判断工艺模块处于工艺运行状态时,所述绘制线程激活模块包 括:

线程开启子模块,用于在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线 程未开启时,将该线程开启。

11.如权利要求9所述的装置,其特征在于,当所述工艺过程参数 接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时,所述绘制线程激活模 块包括:

线程唤醒子模块,用于在所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘 制线程为开启状态下的挂起子状态时,将该线程唤醒。

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