[发明专利]一种工艺过程参数的可视化处理方法和装置有效

专利信息
申请号: 200910082770.4 申请日: 2009-04-29
公开(公告)号: CN101539773A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 梁小祎 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 代理人: 苏培华
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 工艺 过程 参数 可视化 处理 方法 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及工艺过程自动化控制技术领域,特别是涉及一种工艺过程参数的可视化处理方法和一种工艺过程参数的可视化处理装置。 

背景技术

随着单个工艺技术的发展,以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度越来越高,工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。 

例如,为了全程监控工艺过程中的各项参数,分析出现硬件故障或不合格产品的原因,现有技术提出了分布式的数据采集分析架构。通过设置在具体生产加工设备上的工艺模块(PM),从工艺制造过程的各个设备上采集各种过程参数,通过通讯卡等器件传输至工控机,在工控机端向技术人员进行相应过程参数的图像展示以便分析查看,也称之为可视化技术。 

相比于传统的参数数值展示,图像分析方法比较直观、便捷,在分析采集到的过程数据时,能够展示过程参数的变化范围和变化趋势,实现对实时数据的图像监控,便于技术人员发现工艺过程中各个参数出现的问题,进而对工艺过程或者设备进行准确控制或预警。 

现有技术中,对于工艺过程参数的可视化处理,通常是针对单个工艺模块进行的。即工控机接收到用户针对与其建立了通信连接的工艺模块发起的操作请求时,建立并维护相应的操作线程,以获取该工艺模块的工艺过程参数,并在当前显示界面进行绘制;当用户针对下一个已连接的工艺模块发起操作请求时,则需要关闭上一次操作的线程,重新针对当前请求建立并维护相应的操作线程,再进行相应处理。显然,这种处理方式效率极为低下。 

为解决上述效率低下的问题,现有技术还提出了一种改进的可视化处理方案,即同时针对多个工艺模块进行可视化处理。然而采用这种方 案,需要同时开启多个工艺模块的操作线程,在当前界面的不同显示区进行可视化处理,不仅系统资源占用很大,而且各个工艺模块的显示区域也非常小。 

因而,目前迫切需要本领域技术人员解决的一个技术问题就是:如何能够改进现有的工艺过程参数的可视化处理机制,以节约系统资源,并扩大工艺模块的显示区域。 

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种工艺过程参数的可视化处理方法,能够在占用少量系统资源的情况下同时针对多个工艺模块进行可视化处理,能够扩大工艺模块的图像显示区域。 

本发明还提供了一种工艺过程参数的可视化处理装置,用以保证上述方法在实际中的实现及应用。 

为了解决上述问题,本发明公开了一种工艺过程参数的可视化处理方法,包括: 

针对已建立通信连接的多个工艺模块,建立相应的工艺过程参数接收线程及工艺过程参数绘制线程;所述工艺过程参数接收线程建立时的初始状态为开启,所述工艺过程参数绘制线程建立时的初始状态为未开启;所述工艺过程参数接收线程用于判断相应工艺模块是否处于工艺运行状态,若是,则获取所述相应工艺模块的工艺过程参数并保存到缓存区; 

接收用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求; 

依据所述请求,激活这个工艺模块所针对的工艺过程参数绘制线程,对缓存区的工艺过程参数进行可视化处理。 

优选的,所述的方法,还包括: 

当用户针对某个工艺模块发起的工艺过程参数显示请求结束时,将这个工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程挂起; 

当与某个工艺模块断开通信连接时,将相应的工艺过程参数接收线程关闭。 

优选的,当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时,所述激活步骤包括: 

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程未开启时,将该 线程开启。 

优选的,当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺运行状态时,所述激活步骤包括: 

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启状态下的挂起子状态时,将该线程唤醒。 

优选的,当所述工艺过程参数接收线程判断相应工艺模块处于工艺停止状态时,所述的方法还包括: 

当所述相应工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程开启时,将该线程挂起。 

优选的,所述工艺模块具有对应的显示界面,在激活绘制线程的步骤之前,还包括: 

切换至所述请求所针对的工艺模块的显示界面。 

优选的,所述的方法还包括: 

若未切换至所述显示界面,则在所述工艺模块对应的工艺过程参数绘制线程为开启时,将该线程挂起。 

本发明实施例还公开了一种工艺过程参数的可视化处理装置,包括: 

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