[发明专利]一种电机内置式抛光机转台

权利要求书

1.一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，支撑轴承(2)的内圈安装在托盘(3)上，支撑轴承(2)的外圈安装于轴承座(1)内；抛光盘(6)安装于托盘(3)上，托盘(3)为抛光盘(6)提供一个高精度的旋转支撑；中间轴(7)与托盘(3)之间、中间轴与悬伸轴(8)之间分别用螺栓联接，形成转轴组件(99)；直驱电机(9)安装在轴承座(1)与转轴组件(99)之间的空腔，其中，直驱电机转子(91)套装于中间轴(7)上，并用螺栓与悬伸轴(8)的端面联接，直驱电机定子(92)用螺栓安装于与轴承座(1)下端固联的支撑盘(10)上，直驱电机(9)通过转轴组件(99)驱动抛光盘(6)；小轴承(11)安装于悬伸轴(8)与支撑盘(10)之间，以保证悬伸轴(8)转动的平稳性；圆光栅(13)安装在悬伸轴(8)外端，读数头(14)安装在轴承盖(12)上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽(15)安装于抛光盘(6)外沿下方，挡液围栏(16)套装在集液槽(15)上，用以实现抛光盘(6)上面液体的收集。

2.根据权利要求1所述的一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，所述直驱电机(9)为定子转子分离式直驱电机。

3.根据权利要求1所述的一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，所述支撑轴承(2)为交叉滚子轴承、双排推力角接触球轴承或三排圆柱滚子组合轴承；对于内外圈没有安装孔的支撑轴承(2)，其内圈由内压盖(4)固定，外圈由外压盖(5)固定；对于内外圈有安装孔的支撑轴承(2)，其内外圈分别由螺栓固定。

4.根据权利要求3所述的一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，对于内外圈没有安装孔的支撑轴承(2)，所述外压盖(5)的凸缘(5a)与集液槽(15)的凸缘(15a)分别嵌入抛光盘(6)的内槽(6a)和外槽(6b)内，形成内外两 层密封。

5.根据权利要求1所述的一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，所述托盘(3)与中间轴(7)之间采用螺栓联接在一起，或将托盘(3)与中间轴(7)做成一体化的托盘轴(37)。

6.根据权利要求1所述的一种电机内置式抛光机转台，其特征在于，所述抛光机转台工作时，液体收集方式为：液体从抛光盘(6)的外沿流下直接进入集液槽(15)中，或者液体溅在挡液围栏(16)上，由挡液围栏(16)流入集液槽(15)，集液槽(15)内的液体由排液孔(100)排出收集。