[发明专利]一种电机内置式抛光机转台

说明书

技术领域

本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种电机内置式抛光机转台。

背景技术

抛光设备是一种精加工设备，其中转台用以承载待加工工件，并依靠抛光盘和抛光头之间的相对转动为材料的去除提供相对运动。转台台面的回转精度尤其是端面跳动(轴向跳动)直接影响工件的抛光质量。由于转台台面尺寸较大，工作压力较大且一般为偏载，因而转台承受的载荷比较复杂。抛光设备的转台是一种高精度、高承载能力的关键部件。

由于抛光过程中会使用带有腐蚀性的抛光液，因而需要考虑转台结构的密封问题，防止液体进入转台的内部，同时需要考虑液体的收集。

目前，抛光机转台一般采用多个精密机械轴承支撑，由变频电机或伺服电机经过齿轮传动或皮带传动来驱动转台的旋转。由于传动链长，并且会引入额外的径向力，转台的回转精度不会特别高。而且由于工作转速不高，电机还需要配备减速器，电机和减速器一般置于转台的外部，使得转台结构不够紧凑。气浮转台虽然精度高，但承载能力一般有限，对于大台面大载荷的情况应用较少。

直驱电机(力矩电机)是一种新型电机，这种电机能够直接提供较大转矩，而且转速不高，不需要配备减速器。直驱技术可以省略中间的传动环节，提高精度。

现在已经有一些集成直驱电机，在电机内集成轴承，可直接连接外部旋转部件作为转台。这种集成电机，一般对外提供的支撑面比较小，承载能力较小。

发明内容

为了克服现有抛光机转台旋转精度不高，结构不紧凑，承载能力不足等问题，本发明提供一种能够提高转台回转精度，并结构紧凑的电机内置式抛光机转台，其特征在于，支撑轴承2的内圈安装在托盘3上，支撑轴承2的外圈安装于轴承座1内；抛光盘6安装于托盘3上，托盘3为抛光盘6提供一个高精度的旋转支撑；中间轴7与托盘3和悬伸轴8之间分别用螺栓联接，形成转轴组件99；直驱电机9安装在轴承座1与转轴组件99之间的空腔，其中，直驱电机转子91套装于中间轴7上，并用螺栓与悬伸轴8的端面联接，直驱电机定子92用螺栓安装于与轴承座1下端固联的支撑盘10上，直驱电机9通过转轴组件99驱动抛光盘6；小轴承11安装于悬伸轴8与支撑盘10之间，以保证悬伸轴8转动的平稳性；圆光栅13安装在悬伸轴8外端，读数头14安装在轴承盖12上，用以完成转台的速度和位置反馈控制；集液槽15安装与抛光盘6外沿下方，挡液围栏16套装在集液槽15上，用以实现抛光盘6上面液体的收集。

所述直驱电机9为定子转子分离式直驱电机，包括直驱电机转子91和直驱电机定子92。

所述支撑轴承2为交叉滚子轴承、双排推力角接触球轴承或三排圆柱滚子组合轴承；对于内外圈没有安装孔的支撑轴承2，其内圈由内压盖4固定，外圈由外压盖5固定；对于内外圈有安装孔的支撑轴承2，其内外圈分别由螺栓固定。

对于内外圈没有安装孔的支撑轴承2，所述外压盖5的凸缘5a与集液槽15的凸缘15a分别嵌入抛光盘6的内槽6a和外槽6b内，形成内外两层密封。

所述托盘3与中间轴7之间采用螺栓联接在一起，或将托盘3与中间轴7做成一体化的托盘轴37。

所述抛光机转台工作时，液体收集方式为：液体从抛光盘6的外沿流下直接进入集液槽15中，或者液体溅在挡液围栏16上，由挡液围栏16流入集液槽15，集液槽15内的液体由排液孔100排出收集。

本发明的优点在于：以单个支撑轴承为主要支撑提供精密的旋转支撑，以一个小轴承为辅，提高稳定性；直驱电机安装于旋转轴组件和轴承座之间，结构紧凑；直驱电机的定子和转子均为螺栓联接，拆装方便。

附图说明

图1是本发明所述装置(支撑轴承无安装孔)的剖视结构示意图；

图2是本发明所述装置(支撑轴承有安装孔)的剖视结构示意图；

图3是图1中A处局部放大图；

图4是一体化的托盘轴结构示意图。

图中标号：

1-轴承座；2-支撑轴承；3-托盘；4-内压盖；5a-外压盖凸缘；5-外压盖；

6-抛光盘；6a-内槽；6b-外槽；7-中间轴；8-悬伸轴；9-直驱电机；10-支撑盘；

11-小轴承；12-轴承盖；13-圆光栅；14-读数头；15-集液槽；

15a-集液槽凸缘；16-挡液围栏；37-托盘轴；91-直驱电机转子；

92-直驱电机定子；99-转轴组件；100-排液孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式进行说明。