[发明专利]掩膜板检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种掩膜板检测装置，其特征在于，包括：

检测板，由绝缘材料制成；

电阻块，采用感光电阻材料制成，设置在所述检测板的表面上，用于在检测板与掩膜板平行且重叠设置时，接受穿过所述掩膜板照射在检测板上的光线；

控制模块，与所述电阻块相连，用于检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

2.根据权利要求1所述的掩膜板检测装置，其特征在于：所述电阻块的数量为多块，彼此间隔地设置在所述检测板上。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜板检测装置，其特征在于，所述控制模块包括：

阻值检测单元，与所述电阻块相连，用于检测所述电阻块的电阻值；

标准值比较单元，与所述阻值检测单元相连，用于将检测出的电阻值与预存储的标准值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

4.根据权利要求2所述的掩膜板检测装置，其特征在于：各所述电阻块的面积相等，且每个所述电阻块的面积对应一个或多个像素区域的面积。

5.根据权利要求4所述的掩膜板检测装置，其特征在于：所述多个电阻块为相互平行的多个长条状电阻块，或呈矩阵形式排列的多个电阻块。

6.根据权利要求4所述的掩膜板检测装置，其特征在于，所述控制模块包括：

阻值检测单元，与所述电阻块相连，用于检测所述电阻块的电阻值；

均值计算单元，与所述阻值检测单元相连，用于计算各电阻值的平均值；

均值比较单元，与所述阻值检测单元和均值计算单元分别相连，用于将各电阻值与所述平均值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

7.根据权利要求4所述的掩膜板检测装置，其特征在于，所述控制模块包括：

阻值检测单元，与所述电阻块相连，用于检测所述电阻块的电阻值；

阻值比较单元，用于按照设定规律将两个所述电阻值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息，并停止比较操作。

8.根据权利要求1所述的掩膜板检测装置，其特征在于：所述电阻块的材质为硫化镉。

9.一种掩膜板检测方法，其特征在于，包括：

将绝缘材料的检测板与掩膜板平行且重叠布设，所述检测板上设置有感光电阻材料制成的电阻块；

发射光线穿过所述掩膜板照射到所述检测板的电阻块上；

检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

10.根据权利要求9所述的掩膜板检测方法，其特征在于，检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息包括：

检测设置在所述检测板上的一块或间隔设置地多块所述电阻块的电阻值；

将检测出的电阻值与预存储的标准值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

11.根据权利要求9所述的掩膜板检测方法，其特征在于，所述电阻块的数量为多块，彼此间隔地设置在所述检测板上，各所述电阻块的面积相等，且每个所述电阻块的面积对应一个或多个像素区域的面积，则检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息包括：

分别检测各所述电阻块的电阻值；

计算各电阻值的平均值；

将各电阻值与所述平均值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息。

12.根据权利要求9所述的掩膜板检测方法，其特征在于，所述电阻块的数量为多块，彼此间隔地设置在所述检测板上，各所述电阻块的面积相等，且每个所述电阻块的面积对应一个或多个像素区域的面积，则检测所述电阻块的电阻值并进行识别，当识别出电阻块的电阻值变化量大于或等于设定值时产生报警信息包括：

分别检测各所述电阻块的电阻值；

按照设定规律将两个所述电阻值进行比较获得变化量，当识别出所述变化量大于或等于设定值时产生报警信息，并停止比较操作。